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RMI-MZV™零体积阀He标准漏孔

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所属分类:有源漏孔 核心定位
对于漏率大的标准漏孔(例如10-2mbar.l/s 至 10-5mbar.l/s),都会面临一个衰减大的问题。衰减大了,气室内的压力低了,直接反应,标准漏孔的漏率降低,测试不准确。解决衰减大的问题,通常从三个方面解决: 1、增加气室的体积,这是普遍采用的方法。睿米公司的标准漏孔的气室体积从160cc增加到1000cc; 2、增加充气压力,即增加气室内的气体压力。但是,传统情况,标准漏孔的工艺决定,气室内的压力不能太大,决定了,这种方法只有极少数厂家使用。睿米公司开发出RMI-MTC™微通道毛细管技术,支持40MPa的压力,有源标准漏孔的气室,可以充到约10MPa的压力。 3、零体积阀替代普通的阀门。要求零体积阀制作精度高,零体积阀的死体积一定要小;标准漏孔的整体制造工艺要强。由于标准漏孔的制作工艺要求高,只有极少数公司提供零体积阀;其中大部分零体积阀的死体积较大,阀门打开还是会对系统造成冲击。(死体积(Dead Volume)是指阀门关闭时漏孔与阀门关闭处的死空间,阀门关闭时漏孔继续泄漏到死空间累积直至压力平衡。所以常规阀门的标准漏孔会在关闭阀门一段时间后打开,死空间
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Product Overview产品概述

睿米公司的标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:

 

   指定漏率,指定压力。

   提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,N2,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。

   并且提供众多的接头,供用户选择。

   自研RMI-MZV™零体积手动阀,自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。

Detailed technical specifications详细技术规格

技术规格(典型,RMI-MZV零体积手动阀)

1

型号

TLS-2   TLS-3P

2

订货号

RM51L-21321VG/4

3

漏率

1~3x10-2mbar.L/sec (10-3Pa.m³/sec) 

4

制作工艺

RMI-MTC微通道毛细管, RMI-Metal金属密封(<1x10-15 atm.cc/sec),抗震抗摔| 支持高压(气室最高~12MPa)|-20-65℃, 温度系数:0.1%/℃(可忽略)

5

气室规格

300cc, 可反复充气设计

6

衰减

~2.2%/年(年使用100次,平均5min/次)

~4.2%/年(年使用200次,平均5min/次)

不使用时请务必关闭阀门

7

充气压力

>10MPa,带压力表

8

接口

KF25

9

阀门

RMI-MZV零体积手动阀,集成KF25接一体化设计,阀门死体积<0.1μL,泄漏率<5x10-9 atm.cc/sec @10Mpa. 长期关闭阀门对高真空系统零冲击

10

规格尺寸

330mm(长)x100mm(最宽)

11

证书

出厂合格证或第三方CNAS证书

睿米 ® 标准漏孔:全球行业领导者,开启漏孔技术新纪元

RealMeter® Calibrated Leak Standard: The global industry leader, inaugurating a new era of leak technology.

 

     上海睿米仪器仪表有限公司,专注于标准漏孔的研发与生产。公司凭借多年的技术沉淀,成功攻克微通道毛细管技术难题,自主研发出一系列领先行业的产品。我们致力于为新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航天航空、核工业、医疗、食品包装等众多领域提供高精度、高性能的标准漏孔产品,助力各行业实现更高效、更精准的检测与控制。

 

  在标准漏孔领域,睿米 ® 凭借卓越性能、创新工艺和广泛应用,成为全球行业领导者。我们的标准漏孔产品性能指标全面超越国内外同类产品,使用寿命更长,服务众多知名企业和科研机构,如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中国工程物理研究院、上海光源等。

 

  In the field of calibrated leak standards, RealMeter® has become the global industry leader by virtue of its excellent performance, innovative technology and wide applications. The performance indicators of our calibrated leak standard products comprehensively surpass similar products at home and abroad. They have a longer service life and serve many well-known enterprises and scientific research institutions, such as Anhui Wanyi Science and Technology Co., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy of Engineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility, etc.


使用注意事项
证书与质量保障
Relevant cases 相关案例
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