

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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1.0ml/min @20Kpa | Φ3.0×3.2mm
定义智能手机、穿戴设备、电子元器件
IP67/68/69 气密性等级的校准标杆
微尺寸,解决了在智能手机、手表、耳机、AR/VR眼镜等内部极小空间进行"原位测试"的痛点
圆柱体漏芯仅 Φ3.0×3.2mm,可嵌入手机、手表等狭小空间进行原位测试
RMI-MTC™微通道工艺,通过1.2米跌落试验5次,运输及使用无特殊环境要求
适用温度-85℃~120℃,漏率稳定,温度系数:-0.3%/℃
响应时间<0.1秒,区别于渗透型元件漏孔,即开即测
RMI-MTC™微通道工艺 | 真实产品照片 | 精密制造工艺
漏芯尺寸:直径Φ3.0mm,高度3.2mm。与一元硬币对比展示极致微型化设计,可轻松放置于指尖。
展示漏芯密封圈凹槽设计,截面直径1.6-2.0mm密封圈,外径6.0mm。具备出色抗堵塞性能与长期稳定性。
涵盖有源(带气室)与无源(模拟仿真)标准漏孔全系列产品
带气室设计,适用于长期稳定测试
开放式结构,模拟仿真测试场景
Φ3.0-5.0mm,适用于原位测试
微通道工艺 | 抗震抗摔 | 0.0006-6000sccm | 0-35MPa | 使用寿命长
Atlas Copco、Uson、Cosmo、CTS、Ateq、Inficon、Pfeiffer等国内外主流气密性检测设备。
示例:RM521.0-010XXA0/3/20-F
微通道工艺标识
2: Air | 4: N₂ | X: 定制气体
a: 1.0-9.9 或 L(1-3), M(4-6), H(7-9)
b: -9 到 0 之间任意值
05: ±5% | 10: ±10% | 02: ±2%
G: G1/8外丝 | X: 定制 | 0/N: 无
A: 大气(正压) | V: 真空 | X: 指定压力
3: scc/m | ...
如:20 (表示20Kpa)
7: bar绝压 | F: Kpa表压
| 序号 | 项目 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌/厂家 | 睿米®/上海睿米仪器仪表 |
| 2 | 订货号 | RM521.0-010XXA0/3/20-F |
| 3 | 气体 | 干燥压缩空气 Air |
| 4 | 漏率,入大气 | 0.95-1.05 sccm @20Kpa ±5% |
| 5 | 接口规格、尺寸 |
圆柱体漏芯:Φ3.0×3.2mm(高),带密封圈凹槽 密封圈:截面直径1.6-2.0mm, 外径6.0mm |
| 6 | 核心工艺 |
RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary) 采用RMI-MTC™微通道技术,抗震抗摔,运输及使用无特殊环境要求。 适用温度-85℃~120℃,漏率稳定,温度系数:-0.3%/℃。 |
| 7 | 响应时间 | 即时,<0.1秒。(区别于渗透型元件漏孔) |
| 8 | 其他特性 | 抗震抗摔,跌落试验1.2米5次通过 |
| 9 | 证书/检测报告 | 默认附睿米®出厂检测证书(皂膜流量计法),或第三方CNAS检测证书(如需要) |
| 10 | 其他注意事项 |
本漏孔为微通道工艺,具备出色抗堵塞性能与长期稳定性,>5-10μm颗粒及常规水汽不影响透气率; 洁净环境下配合干燥气路5-10μm过滤装置即可稳定运行。 |
支持同时指定压力、漏率、气体进行定制,满足您的特定测试需求。
长 3.0 ~ 10.0mm, 直径 Φ: 2.0 ~ 5.0mm
-0.1Mpa ~ 5.0Mpa
0.01 ~ 100 sccm
一般精度 ±10% | 较高精度 ±5% | 极高精度 ±2%
100-300 pcs/天