

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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正压标准漏孔应用场景
工业检测:
汽车零部件(油箱、发动机管路)的气密性测试。
电子设备(防水手机、电池)的密封性验证。
校准与标定:
校准检漏仪(如氦质谱检漏仪、压降式检漏仪)。
验证生产线泄漏检测系统的灵敏度。
科研与实验室:
真空系统、反应容器等设备的泄漏率标定。
医疗设备(如呼吸机、输液泵)的安全测试。
睿米公司的标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:
✪指定漏率,指定压力。
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,N2,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
✪自研RMI-MZV™零体积手动阀,自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。
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常用型号 |
订货号 |
正压漏率 |
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RM51L-4106DA0/4 |
1-3×10⁻⁴ mbar.L/s |
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RM51M-5102DA0/4 |
4-6×10⁻⁵ mbar.L/s |
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RM51L-5104DA0/4 |
1-3×10⁻⁵ mbar.L/s |
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RM51M-6104DA0/4 |
4-6×10⁻⁶ mbar.L/s |
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RM51L-6104DA0/4 |
1-3×10⁻⁶ mbar.L/s |
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RM51M-7104DA0/4 |
4-6×10⁻⁷ mbar.L/s |
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RM51L-7104DA0/4 |
1-3×10⁻⁷ mbar.L/s |
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订货号 |
见上。用户可定制指定漏率,加工公差:±10%
举例说明:定制 2.5×10⁻⁴ mbar.L/s,选 1000cc 气瓶 订货号:RM512.5-4106DA0/4 |
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制作工艺 |
微通道毛细管 | 抗震抗摔 | 支持高压 (气室最高 - 12MPa) | 极低衰减 | 温度系数:0.1%/℃(可忽略) |
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气室规格 |
160-300cc-1000cc 可选,可重复充气设计 |
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充气压力 |
最高 12.0MPa(同类产品一般 < 2.0MPa) |
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典型衰减 |
2.0×10⁻⁴ mbar.L/s, 1000cc 气室 / 11MPa:5.4%/ 年
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接口 |
φ10mm 吸枪适配口 |
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规格尺寸 |
1000cc 气瓶:360mm (长)×70mm (最宽)
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证书 |
出厂合格证或第三方 CNAS 证书 |
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1. 阀门操作:手柄顺时针旋转为关闭,逆时针旋转为打开;不使用时务必关闭阀门,减少漏率衰减和气体损耗。
2. 温度影响:标称漏率基于23.0℃环境,温度波动会导致漏率轻微变化(无源-0.6%/℃,有源0.1%/℃),建议在恒温环境中使用以保证精度。
3. 维护建议:无需频繁维护,若长期闲置,需关闭阀门并置于干燥、常温环境,避免剧烈碰撞。
1. 出厂检测:每台产品均通过睿米内部精密检测,附出厂检测报告,确保漏率、密封性等参数达标。
2. 第三方认证:可提供CNAS认可检测证书,满足计量溯源、行业合规要求。
3. 质量承诺:核心组件(微通道毛细管、金属密封件)使用寿命长,支持400Bar高压反复冲击,出现质量问题可联系售后处理。