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10⁻¹¹ 10⁻¹² 10⁻¹³Pa.m³/sec极微小漏率He标准漏孔(微通道工艺)

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所属分类:有源漏孔 核心定位
长期以来,10⁻¹¹、10⁻¹²以及被称为无人区的 10⁻¹³Pa・m³/sec 极微小泄漏标定,一直是制约半导体、航空航天等高端产业的技术瓶颈。 今日,睿米(RealMeter) 正式发布全系列微通道型超高精度氦气标准漏孔(Calibrated Leak Standards),以整体矩阵之姿,达到国际领先水平! 睿米是目前全球唯一支持 10⁻¹¹∼10⁻¹³ 量级微通道型标准漏孔的厂家,实现了从工业精密到科学极限的全方位覆盖。 全球首款微通道型 10⁻¹¹/10⁻¹²/10⁻¹³Pa・m³/sec 超高精度 He 标准漏孔,自研 RMI-MTC™微通道毛细管 + RMI-Metal™全金属密封工艺,颠覆传统渗透膜技术,实现高稳定、高耐受、低衰减,适配半导体、航空航天、超高真空计量等高端领域精密检漏 / 校准需求。
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Product Overview产品概述

现状:传统 “渗透膜” 工艺的集体瓶颈

在超高精度领域,传统技术主要采用石英或金刚石等渗透膜工艺。但在面对 10⁻¹¹~10⁻¹³ 这一量级区间时,传统工艺的缺陷会被无限放大:

温漂严重:温度系数高达 4.0%/℃,环境微小温差即可导致漏率剧烈波动。

本底干扰:传统密封工艺存在约 10⁻¹⁰ 的本底泄漏,在标定更小信号时,真实数据极易被背景噪声淹没。

稳定性差:渗透材料脆弱易碎,且漏率随时间衰减明显,维护成本极高。


突破:RMI‑MTC™ 微通道技术的 “代差” 优势

睿米通过自研 RMI‑MTC™ 微通道毛细管技术,结合 RMI‑Metal™ 全金属密封工艺,实现了从10⁻¹¹到10⁻¹³全量程的跨代演进:

极致稳定:有源型漏孔温度系数低至 0.1%/℃,稳定性较传统技术提升了约 40 倍!

纯净背景:全金属密封确保本底泄漏 < 1×10⁻¹⁵ atm·cc/s,为超高真空测量提供清澈的基准。

硬核品质:支持 400 Bar 高压反复冲击,具备卓越的抗震抗摔性能,对运输和环境无特殊要求。

近乎零衰减:漏率年衰减率 < 0.1%,几乎实现了终身免充气、免维护。


Detailed technical specifications详细技术规格

参数项

10⁻¹¹ Pa·m³/s 级别

10⁻¹² Pa·m³/s 级别

10⁻¹³ Pa·m³/s 级别

产品型号
TLS-11P
TLS-12P
TLS-13P
官方订货号
RM51L-111711V0/6
RM51M-121711V0/6
RM51X-131711V0/6
核心漏率
(1.0~3.9)×10⁻¹¹ Pa·m³/s
(4.0~6.9)×10⁻¹² Pa·m³/s
(1.0~9.9)×10⁻¹³ Pa·m³/s
等效漏率
10⁻¹⁰ mbar.L/s
10⁻¹¹ mbar.L/s
10⁻¹² mbar.L/s
适用气体
100%He


气室规格
100cc


充气压力
1.5Bar
50Kpa
15Kpa
阀门配置
手动隔膜阀,与漏孔一体化设计,无外漏


标配接口
VCR ¼ male,可转接KF16/KF25/CF16/CF35等


出口压力
真空(Vacuum)


使用温度
-20~65℃


温度系数
0.1%/℃


漏率衰减
<0.1%/年,永久无需补气


密封性能
全金属密封,自身泄漏<1×10⁻¹⁵atm.cc/sec,无外漏


物理尺寸
240mm(长)×80mm(最宽)


配套证书
默认出厂检测证书,可按需提供国防科技工业真空一级计量站校准证书



使用注意事项

阀门操作:手动隔膜阀手柄轻旋即可,禁止死拧,避免阀体损坏;


接口连接:标配VCR ¼ male转KF25,定制接口需按厂家指导规范连接,防止密封失效;


环境要求:使用温度-20~65℃,避免极端温湿度环境,无需额外防护,正常运输/使用即可。

证书与质量保障
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