

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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现状:传统 “渗透膜” 工艺的集体瓶颈
在超高精度领域,传统技术主要采用石英或金刚石等渗透膜工艺。但在面对 10⁻¹¹~10⁻¹³ 这一量级区间时,传统工艺的缺陷会被无限放大:
温漂严重:温度系数高达 4.0%/℃,环境微小温差即可导致漏率剧烈波动。
本底干扰:传统密封工艺存在约 10⁻¹⁰ 的本底泄漏,在标定更小信号时,真实数据极易被背景噪声淹没。
稳定性差:渗透材料脆弱易碎,且漏率随时间衰减明显,维护成本极高。
突破:RMI‑MTC™ 微通道技术的 “代差” 优势
睿米通过自研 RMI‑MTC™ 微通道毛细管技术,结合 RMI‑Metal™ 全金属密封工艺,实现了从10⁻¹¹到10⁻¹³全量程的跨代演进:
极致稳定:有源型漏孔温度系数低至 0.1%/℃,稳定性较传统技术提升了约 40 倍!
纯净背景:全金属密封确保本底泄漏 < 1×10⁻¹⁵ atm·cc/s,为超高真空测量提供清澈的基准。
硬核品质:支持 400 Bar 高压反复冲击,具备卓越的抗震抗摔性能,对运输和环境无特殊要求。
近乎零衰减:漏率年衰减率 < 0.1%,几乎实现了终身免充气、免维护。
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参数项 |
10⁻¹¹ Pa·m³/s 级别 |
10⁻¹² Pa·m³/s 级别 |
10⁻¹³ Pa·m³/s 级别 |
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产品型号 |
TLS-11P |
TLS-12P |
TLS-13P |
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官方订货号 |
RM51L-111711V0/6 |
RM51M-121711V0/6 |
RM51X-131711V0/6 |
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核心漏率 |
(1.0~3.9)×10⁻¹¹ Pa·m³/s |
(4.0~6.9)×10⁻¹² Pa·m³/s |
(1.0~9.9)×10⁻¹³ Pa·m³/s |
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等效漏率 |
10⁻¹⁰ mbar.L/s |
10⁻¹¹ mbar.L/s |
10⁻¹² mbar.L/s |
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适用气体 |
100%He |
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气室规格 |
100cc |
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充气压力 |
1.5Bar |
50Kpa |
15Kpa |
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阀门配置 |
手动隔膜阀,与漏孔一体化设计,无外漏 |
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标配接口 |
VCR ¼ male,可转接KF16/KF25/CF16/CF35等 |
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出口压力 |
真空(Vacuum) |
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使用温度 |
-20~65℃ |
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温度系数 |
0.1%/℃ |
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漏率衰减 |
<0.1%/年,永久无需补气 |
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密封性能 |
全金属密封,自身泄漏<1×10⁻¹⁵atm.cc/sec,无外漏 |
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物理尺寸 |
240mm(长)×80mm(最宽) |
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配套证书 |
默认出厂检测证书,可按需提供国防科技工业真空一级计量站校准证书 |
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阀门操作:手动隔膜阀手柄轻旋即可,禁止死拧,避免阀体损坏;
接口连接:标配VCR ¼ male转KF25,定制接口需按厂家指导规范连接,防止密封失效;
环境要求:使用温度-20~65℃,避免极端温湿度环境,无需额外防护,正常运输/使用即可。