

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
查看详情
睿米公司的标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:
✪指定漏率,指定压力。
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,N2,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
✪自研RMI-MZV™零体积手动阀,自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。
| 品牌/订货号 |
睿米® RM511.0-91140V0/6 |
|
气体 |
100%He |
|
漏率 |
~1.0x10-9pa.m³/sec 入真空/大气 不确定度:±8.0% |
|
气室/充气压力 |
160cc,~1Mpa 可反复充气设计 |
|
阀门 |
手动截止阀,集成KF16接一体化设计 |
|
制作工艺 |
RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击(气室最高~12MPa), 防堵塞性优异, 使用温度:-20~65℃, 漏率稳定, 温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃). |
|
出口连接 |
KF16 |
|
压力衰减 |
<0.1%/年(阀门365x24小时常开) |
|
规格尺寸 |
260mm(长) x 90mm(最宽) |
|
证书 |
默认附睿米®出厂检测证书,
或第三方CNAS检测证书(如需要) |
1. 阀门操作:手柄顺时针旋转为关闭,逆时针旋转为打开;不使用时务必关闭阀门,减少漏率衰减和气体损耗。
2. 温度影响:标称漏率基于23.0℃环境,温度波动会导致漏率轻微变化(无源-0.6%/℃,有源0.1%/℃),建议在恒温环境中使用以保证精度。
3. 维护建议:无需频繁维护,若长期闲置,需关闭阀门并置于干燥、常温环境,避免剧烈碰撞。
1. 出厂检测:每台产品均通过睿米内部精密检测,附出厂检测报告,确保漏率、密封性等参数达标。
2. 第三方认证:可提供CNAS认可检测证书,满足计量溯源、行业合规要求。
3. 质量承诺:核心组件(微通道毛细管、金属密封件)使用寿命长,支持400Bar高压反复冲击,出现质量问题可联系售后处理。