

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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最小可检测精度 |
1x10-7mbar.L/sec 1x10-8Pa.m3/sec |
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响应时间 |
10米 |
<2.0s |
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15米 |
<2.5s |
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20米 |
<3.5s |
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30米 |
<5.6s |
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50米 |
<9.0s |
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100米 |
<16.8s(定制) |
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*可定制吸枪线长度,或更快的响应时间 |
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吸气速度 |
2-100cc/sec(120-3000cc/min) |
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吸枪因子 |
30-300倍 |
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接口 |
KF25x1:连接检漏仪 吸枪线接口x1: 连超级吸枪线 |
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支持氦质谱检漏仪型号 |
任何品牌,包括但不限于:Inficon,Leybold,Pfeiffer Adixen, Agilent Varian, ULVAC, SHIMADZU, 中科科仪,皖仪,迪泰,歌博… |
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工作电压/功耗 |
115/230 VAC, 50/60 Hz, 30W |
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重量 |
2.5kg |
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尺寸(mm) |
275(长)x160(宽)x110(高) |
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工作温度 |
SQT-100超级吸枪模块: -10-50℃ SQL超级吸枪线:-60-150℃ |
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