

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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睿米经过多年研发, 攻克了关键的微通道毛细管技术, 解决了传统漏孔工艺不支持高压、衰减大、漏率不稳定、容易损坏的缺陷, 达到世界领先水平。自研RMI-MTC™微通道毛细管,支持全漏率、全压力、全气体覆盖,是漏孔制作工艺的革命性创新:
一、接近理想的圆管(50nm-200μm),遵循流导规律,且没有方向性(判断是否微通道毛细管漏孔的最简单方法,传统玻璃拉丝、金属压扁工艺因为孔径不均匀都会有方向性)。
二、全气体支持,包括但不限于:He, H2, 5%H2/95%N2, O2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, C2H6, ...,冷媒/卤素/制冷剂:SF6/R134a/R22/R290/R410a/R407c/R545b/R600a /R1234yf/R1234yfze,液体:碳酸二甲酯DMC,正十二烷C12H26...,混气:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1,或客户指定比例的混合气。
三、支持指定压力和漏率精确定制,真实模拟仿真各种工况:压力5pa-40Mpa,最小漏率10-13pa.m³/sec; 根据定制要求,制作和选取合适的孔径和长度,提供公差±10%或更高精确度的加工。传统工艺很难实现指定漏率和压力的精确定制。
四、超强耐受性:抗震、抗摔、抗高压冲击(最高40Mpa),防堵塞性好,而普通工艺仅支持1Mpa或2Mpa,且容易破碎、形变或堵塞。工作温度-20-65℃(普通标准漏孔仅支持常温),适用于各种复杂工况和恶劣环境。
五、超高漏率精确性、稳定性:温度系数0.1%/℃,几乎不受温度变化影响;结合RMI-Metal™金属工艺消除传统密封自身泄漏以及吸附,实现超高漏率精度和稳定性。
睿米®微通道标准漏孔的性能指标(超高的漏率精确性、稳定性、可重复性;超强的耐受性能如抗震、抗摔、防堵塞、抗高压力冲击等; 高低温适用性-20-65℃),和使用寿命等,实现对国外同类产品的全方位超越!

睿米 ® 标准漏孔:全球行业领导者,开启漏孔技术新纪元
RealMeter® Calibrated Leak Standard: The global industry leader, inaugurating a new era of leak technology.
上海睿米仪器仪表有限公司,专注于标准漏孔的研发与生产。公司凭借多年的技术沉淀,成功攻克微通道毛细管技术难题,自主研发出一系列领先行业的产品。我们致力于为新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航天航空、核工业、医疗、食品包装等众多领域提供高精度、高性能的标准漏孔产品,助力各行业实现更高效、更精准的检测与控制。
在标准漏孔领域,睿米 ® 凭借卓越性能、创新工艺和广泛应用,成为全球行业领导者。我们的标准漏孔产品性能指标全面超越国内外同类产品,使用寿命更长,服务众多知名企业和科研机构,如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中国工程物理研究院、上海光源等。
In the field of calibrated leak standards, RealMeter® has become the global industry leader by virtue of its excellent performance, innovative technology and wide applications. The performance indicators of our calibrated leak standard products comprehensively surpass similar products at home and abroad. They have a longer service life and serve many well-known enterprises and scientific research institutions, such as Anhui Wanyi Science and Technology Co., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy of Engineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility, etc.
