睿米®PSOZV™ RGA漏孔RM5C3.0-51445V0/6/99.9998T-上海睿米仪器仪表有限公司

Product Overview产品概述

全场景应用方案

■ 半导体工艺腔室（Fab）监控

痛点： 工艺气体复杂，微量污染物难以量化。
价值： 模拟 ppm 级空气杂质进入，定期校验 RGA 的检出限（LOD），确保制程环境的绝对洁净。

■ 核工业与特殊气体监测

痛点： 示踪气体（如氪、氙同位素）极其稀少且昂贵。
价值： 使用安全配比的 1ppm 标准源，为在线监测系统建立精确的物理漏率（Pa·m³/s）与信号电流（A）的转换模型。

■ 航空航天与真空科研

痛点： 深空探测仪器需要在极端环境下保持高灵敏度。
价值： 作为标准样气源，在热真空试验中验证质谱仪对稀有组分的捕捉能力。

Detailed technical specifications详细技术规格

图：RMI-PSOZV™混气标准漏孔RM5C3.0-51445V0/6/99.9998T

RM5C3.0-51445V0/6/99.9998T标准漏孔，它将 1ppm Kr（氪）+ 1ppm Xe（氙） 完美融入H2氢气基底，为您提供一套覆盖全质量数量程的精密定标方案，让 ppm/ppb 级的微量信号从此有据可依。为 RGA 提供了一把横跨“轻、中、重”全质量数的黄金标尺。

RM5C3.0-51445V0/6/99.9998T 技术规格

序号	技术参数项	详细数值/规格	功能与优势描述
1	订货号	RM5C3.0-51445V0/6/99.9998T	唯一产品标识，包含压力、漏率及组份编码信息。
2	气体组份	1ppm Kr/Xe 余 H₂	提供“轻-中-重”全质量数标定，专为检测 RGA 检出限设计。
3	漏率	3.0x10-5pa.m³/sec	高精度恒定漏率，确保标定量的绝对准确性。
4	气室/充气压力	150cc/20bar	大容量高压气室，提供长达数年的稳定气体源。
5	阀门	RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀	死体积 <0.1μL，消除开关瞬间对高真空系统的冲击。
6	制作工艺	RMI-MTC™微通道毛细管/ RMI-Metal™ 金属密封	核心抗震抗摔设计，工作温度范围宽达 -20℃~+65℃。
7	出口连接	VCR 1/4 Male	工业级标准全金属密封接口，确保连接处零泄漏。
8	衰减	自然衰减<0.2%/年使用衰减<3%/年（年使用30次x60分钟）	极高的长期稳定性，减少频繁校准的需求。
9	规格尺寸	290mm(长) x 120mm (最宽)	结构紧凑，方便集成于各种质谱仪分析系统。
10	证书	出厂检测证书或第三方检测证书	确保每一台设备都具有可追溯的计量准确性。

核心技术：为何它是 RGA 的标配？

1. 极低浓度定量充装（ppm Level）

我们实现了 1ppm 级 稀有气体的极高精度配比。这种近乎“极限”的组分浓度，旨在精准测试 RGA 的信噪比（S/N）与最小检出限（LOD），帮助您在背景噪声中准确识别出关键的微量污染物。

2. 横跨全质量数的“黄金标尺”

低质量数： 氢气（H₂）平衡气，校准低端量程。
中高质量数： Kr (84 amu) 与 Xe (132 amu)，校准高阶质量数下的离子传输效率与灵敏度偏差。
一孔多用： 一次接入，完成全谱图灵敏度曲线修正。

3.RMI-PSOZV™ 零体积阀技术

针对高真空系统设计的zhuanli气动阀，死体积 <0.1μL。

零冲击： 阀门开启瞬间对 RGA 灯丝无压力波动干扰。
零损耗： 确保每一分子标准气都精准用于标定，极大延长漏孔使用寿命。

4. RMI-Metal™ 金属密封技术

对于包含氢气（H2）及微量稀有气体（Kr/Xe）的混合气漏孔，金属密封的作用主要体现在以下几个维度：

阻隔氢气渗透：
氢气分子的直径极小，极易穿透传统的橡胶或聚合物密封圈。金属密封技术通过金属间的原子级紧压，彻底杜绝了氢气的扩散渗透。
确保超高真空兼容：
该技术的内外漏率均低于1x10^-10atm.cc/sec，确保在连接到 RGA 等高真空系统时，不会引入任何外部环境杂质，保证了 ppm 级标定气的纯度。
消除吸附效应：

聚合物密封往往会吸附微量气体并缓慢释放（记忆效应），而金属表面极其致密。