

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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演示视频一:一根吸枪可兼容国内外全系列进口与国产氦质谱检漏仪
视频链接(可右键下载):https://cloud.video.taobao.com//play/u/31439995/p/1/e/6/t/1/347293498230.mp4
通过更换快速接头,RHSP吸枪支持兼容所有的氦质谱检漏仪品牌,包括进口/国产检漏仪
本次演示检漏仪品牌:①Pfeiffer Adixen ASM142, ②Inficon LX218, ③Leybold L300,覆盖所有市面上的氦质谱检漏仪吸枪接口类型。
RHSP全能通用型氦气吸枪支持的氦质谱检漏仪(包括但不限于)
进口检漏仪:Inficon(英福康)、Pfeiffer Adixen(普发)、Leybold(莱宝)、LACO(雷科)、Agilent Varian(安捷伦、瓦里安)、ULVAC(爱发科)、Shimadzu(岛津)/Edward爱德华…
国产检漏仪:中科科仪、皖仪、迪泰、歌博、诺益、睿宝…
RHSP吸枪业界自创,支持组合快接的方式,方便更换接口,支持三种接口:
1)KF25接头,这是业界通用的方式,支持KF25组合快接口(通用型接口):Inficon UL200/UL1000/UL5000/LDS2000/LDS3000, Leybold L300/Quadro/Magno, Agilent&Varian, Edwards, Shimazu, ULVAC, 国产中科科仪、皖仪、迪泰、歌博、诺益、睿宝…
2)Staubli快接头,支持阿尔卡特/普发(Pfeiffer) Adixen ASM全系列检漏仪,包括ASM142, 182, 192, 310, 340, 380, 390...,美国雷科LACO versa系列
3) Parker迷你快接,支持Inficon灵迅(LINXON)LX218, 普发Pfeiffer HLT550, HLT560, HLT570系列, 美国雷科LACO T100系列。
我们还可以根据用户的需求,开发用户定制接口如M5,KF16...等任何接口。