极小漏率He漏孔，10-12pa.m3/sec, 订货号：RM51X-121711V0/6，国防一级证书-上海睿米仪器仪表有限公司

订货号释义 — RM51X-121711V0/6

①RM51

③X

④-12

⑤1

⑥7

②1

⑧1

⑦V

⑩0

⑪/6

				漏率公式： 漏率 = a × 10b = X × 10-12 Pa·m3/s

其中：a = L（1.0–3.9）/ M（4.0–6.9）/ H（7.0–9.9）/ 具体数值 / X（量程内任意值）

本型号对应：a = X（任意值），b = -12，单位 = 6（Pa·m3/s）

序号	项目	可选代码	对应说明
②	气体类型	1:He 　2:Air 　3:Ar 　4:N₂ 　C:H₂ 　D:D₂ 　… 　X:定制	本型号选 1（氦气）
⑥	阀门	0:无　1:手动　2:电磁阀　3:手动角阀　4:PSOZV阀　5:MDZV阀 7:手动隔膜阀 8:气动隔膜阀	本型号选 7（手动隔膜阀）
⑦	气室规格	U:50 V:75cc 1:100cc 　4:160cc 　3:200cc 　2:300cc 　8:500cc 　6:1000cc 　X:定制	本型号选 V（75cc）
⑧	出口接头	1:KF25 0:KF16 　5:VCR¼male 　8:NPT¼外丝　B:NPT⅛外丝　J:CF16 　…	本型号选 1（KF25）
⑨	出口压力	A:大气（正压） V:真空 X:指定压力	本型号选 V（真空）
⑩	压力表	0:无 G:有	本型号选 0（无）
⑪	漏率单位	1:atm.cc/sec 　3:scc/m 　4:mbar.L/sec 6:Pa·m³/sec TL:torr.L/s 　LH:L/hour	本型号选 /6（Pa·m³/s）

产品实物与标注

充气阀门

非充气时，严禁拧动

气室

75 cc（订货号编码 V）

标签

产品铭牌，标注漏率、型号、校准信息

出口连接

KF25（订货号编码 1）

微通道毛细管

内嵌集成，自研RMI-MTC™技术

手动隔膜阀

订货号编码 7

⚠ 隔膜阀手柄操作

旋松即可，严禁死拧！
顺时针关闭，逆时针打开！

				RMI-MTC™ 微通道毛细管 + RMI-Metal™ 全金属密封工艺

全金属密封工艺（<1×10⁻¹⁵ atm·cc/s），温度系数仅 0.1%/℃，对比渗透膜工艺（温度系数 4.0%/℃）实现质的飞跃。

技术规格说明书

技术规格（典型）
序号	项目	内容
1	型号	TLS-11 或 TLS-12P
2	订货号	RM511.0-121711V0/6
3	漏率	（X）x10^-12 Pa·m³/s（10^-10 mbar·L/s）入真空
4	制作工艺	RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary），RMI-Metal™金属密封，抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长，支持400Bar高压反复冲击（气室最高~12MPa），防堵塞性优异，使用温度：-20～65℃，漏率稳定，温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃）。
5	气室规格	100cc，可充气设计
6	衰减	＜0.1%/年（永久不用补气）
7	充气压力	0.2 Bar
8	接口	KF25。 VCR¼ male、转KF16, CF16, CF35等（根据客户需求）
9	阀门	手动隔膜阀
10	规格尺寸	250mm（长）x 80mm（最宽）
11	证书	默认附睿米®出厂检测证书或一级计量证书（如需要）

国防科技工业真空专业计量站 — 校准证书

以下为本产品的国防一级计量站校准证书原件扫描件。证书由国防科技工业真空专业计量站出具，证书编号 GFJGJL10102602021637。

送校单位：二重（德阳）重型装备有限公司　| 仪器名称：真空漏孔　| 型号/规格：RM511.0-121711V0/6 　| 出厂编号：604153

校准日期：2026年06月11日　| 接收日期：2026年06月01日　| 建议有效期：2027年06月10日

校准地点：1021实验室　| 环境条件：温度 23.0~23.2℃（波动度 0.2℃），相对湿度 29.6%~31.2%
依据标准：JJG（军工）165-2024《真空标准漏孔》

				校准结果：

被校漏孔漏率：Q = 8.12 × 10⁻¹² Pa·m³/s（校准气体：氦气）

扩展不确定度：Uᵣ = 22%（k = 2）

计量标准器具与溯源性

名称	测量范围	准确度等级/不确定度	证书编号	有效日期
（5×10⁻¹²~5×10⁻⁵）Pam³/s 气体微流量标准装置	（5×10⁻¹³~5×10⁻⁵）Pam³/s	动态比较法：Uᵣ=14%（k=2）静态累积比较法：Uᵣ=18%（k=2）	［2017］国防计标最高证C249号	2027年12月19日

				溯源主标准器：磁悬浮转子真空计（美国MKS/SRG-5H700）、电容薄膜真空计（INFICON/CDG025D 1Torr）、秒表（深圳市惠波工贸/PC396）、金属量器（自制/TSVE）等。
			