| 序号 | 位置 | 字符 | 含义 | 对应值 |
|---|---|---|---|---|
| ① | 前缀 | RM51 | 睿米微通道工艺 | 全球首个通道型超高精度标准漏孔 |
| ③ | 第1位 | X | 漏率大小 a | X = 量程内任意值（a=L/M/H/X） |
| ④ | 第2-3位 | -12 | 漏率量级 b | b = -12 → 10-12 |
| ⑤ | 第4位 | 1 | 校准点个数 | 1 个校准点 |
| ⑥ | 第5位 | 7 | 阀门类型 | 7 = 手动隔膜阀 |
| ② | 第6位 | 1 | 气体类型 | 1 = He（氦气） |
| ⑧ | 第7位 | 1 | 出口接头 | 1 = KF25 |
| ⑦ | 第8位 | V | 气室规格 | V = 75 cc |
| ⑩ | 第9位 | 0 | 压力表 | 0 = 无 |
| ⑪ | 后缀 | /6 | 漏率单位 | 6 = Pa·m3/s |
| 序号 | 项目 | 可选代码 | 对应说明 |
|---|---|---|---|
| ② | 气体类型 | 1:He 2:Air 3:Ar 4:N₂ C:H₂ D:D₂ … X:定制 | 本型号选 1（氦气） |
| ⑥ | 阀门 | 0:无 1:手动 2:电磁阀 3:手动角阀 4:PSOZV阀 5:MDZV阀 7:手动隔膜阀 8:气动隔膜阀 | 本型号选 7（手动隔膜阀） |
| ⑦ | 气室规格 | U:50 V:75cc 1:100cc 4:160cc 3:200cc 2:300cc 8:500cc 6:1000cc X:定制 | 本型号选 V（75cc） |
| ⑧ | 出口接头 | 1:KF25 0:KF16 5:VCR¼male 8:NPT¼外丝 B:NPT⅛外丝 J:CF16 … | 本型号选 1（KF25） |
| ⑨ | 出口压力 | A:大气（正压） V:真空 X:指定压力 | 本型号选 V（真空） |
| ⑩ | 压力表 | 0:无 G:有 | 本型号选 0（无） |
| ⑪ | 漏率单位 | 1:atm.cc/sec 3:scc/m 4:mbar.L/sec 6:Pa·m³/sec TL:torr.L/s LH:L/hour | 本型号选 /6（Pa·m³/s） |
| 技术规格（典型） | ||
|---|---|---|
| 序号 | 项目 | 内容 |
| 1 | 型号 | TLS-11 或 TLS-12P |
| 2 | 订货号 | RM511.0-121711V0/6 |
| 3 | 漏率 | （X）x10-12 Pa·m³/s（10-10 mbar·L/s） 入真空 |
| 4 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary），RMI-Metal™金属密封，抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长，支持400Bar高压反复冲击（气室最高~12MPa），防堵塞性优异，使用温度：-20～65℃，漏率稳定，温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃）。 |
| 5 | 气室规格 | 100cc，可充气设计 |
| 6 | 衰减 | ＜0.1%/年（永久不用补气） |
| 7 | 充气压力 | 0.2 Bar |
| 8 | 接口 | KF25。 VCR¼ male、转KF16, CF16, CF35等（根据客户需求） |
| 9 | 阀门 | 手动隔膜阀 |
| 10 | 规格尺寸 | 250mm（长）x 80mm（最宽） |
| 11 | 证书 | 默认附睿米®出厂检测证书或一级计量证书（如需要） |
送校单位：二重（德阳）重型装备有限公司 | 仪器名称：真空漏孔 | 型号/规格：RM511.0-121711V0/6 | 出厂编号：604153
校准日期：2026年06月11日 | 接收日期：2026年06月01日 | 建议有效期：2027年06月10日
校准地点：1021实验室 | 环境条件：温度 23.0~23.2℃（波动度 0.2℃），相对湿度 29.6%~31.2%
依据标准：JJG（军工）165-2024《真空标准漏孔》
| 名称 | 测量范围 | 准确度等级/不确定度 | 证书编号 | 有效日期 |
|---|---|---|---|---|
|
（5×10⁻¹²~5×10⁻⁵）Pam³/s 气体微流量标准装置 |
（5×10⁻¹³~5×10⁻⁵）Pam³/s |
动态比较法：Uᵣ=14%（k=2） 静态累积比较法：Uᵣ=18%（k=2） |
［2017］国防计标 最高证C249号 |
2027年12月19日 |
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