

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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近似理想管道的柔性nm/m毛细管,依据流导公式计算和截取合适的孔径以及长度制作。
压力:0-40MPa,
有源漏孔-最高12Mpa,超高压力|极低衰减
无源漏孔-最高40MPa,精确定制使用寿命长
漏率:
有源漏孔:10-2mbar.L/s-10-12mbar.L/s
无源漏孔:100mbar.L/s-10-9mbar.L/s
接近理想的流导圆管,漏率无方向性
温度系数:0.1%/°C,可忽略
工作温度:-20-65°C,可承受-30°C低温冷冻
抗震抗摔,漏孔元器件支持抗震|抗摔抗高压冲击,无源漏孔均经过支持1.2米5次跌落测试通过
防堵塞性能好,对储存、运输无特别要求,适合恶劣工况