

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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订货号:RM5D1.0-71545V0/6
气体类型:100%氘气(D₂)
标称漏率:(1.0~1.5)×10⁻⁷Pa·m³/sec(入真空,23.0℃环境)
漏率精度:不确定度±10%,加工公差±10%
核心组件:160cc气室 + RMI-MDZV™零体积手动阀
| 序号 | 项目 | 具体参数 |
|---|---|---|
| 1 | 订货号 | RM5D1.0-71545V0/6 |
| 2 | 气体类型 | 氘气(D₂),纯度100% |
| 3 | 漏率 | (1.0~1.5)×10⁻⁷Pa·m³/sec(入真空,23.0℃);不确定度±10%,加工公差±10% |
| 4 | 气室规格 | 160cc |
| 5 | 阀门特性 |
睿米®RMI-MDZV™零体积手动阀 - 呆体积:<0.1μL - 外漏:<1×10⁻¹¹atm.cc/sec - 内漏:<1×10⁻¹⁰atm.cc/sec(常规测试);<5×10⁻⁸atm.cc/sec(5bar 100%He测试) |
| 6 | 制作工艺 |
- 核心技术:RMI-MTC™微通道毛细管、RMI-Metal™金属密封 - 环境耐受:抗震抗摔,无特殊运输/使用环境要求 - 压力耐受:支持400Bar高压反复冲击 - 温度范围:-20~65℃ - 漏率温度敏感性:无源-0.6%/℃,有源0.1%/℃ - 防堵塞性:优异,使用寿命长 |
| 7 | 出口连接 | VCR 1/4 male(转1/4卡套) |
| 8 | 漏率衰减 |
- 持续打开状态:~10%/年 - 常规使用(300次×1小时/次):<2.0%/年(不使用时需关闭阀门) |
| 9 | 规格尺寸 | 280mm(长)×80mm(最宽) |
| 10 | 配套证书 | 默认:睿米®出厂检测证书;可选:第三方CNAS检测证书 |
睿米支持基于本产品的延伸定制,覆盖气体类型、漏率、接头、气室等维度,具体如下:
| 定制类别 | 可选范围 |
|---|---|
| 气体类型 |
单一气体:Air、He、H₂、D₂、HD、N₂、O₂、Ar、Kr、Xe、Ne、CO₂、CO、CH₄、C₂H₆等 混合气体:按需定制组分比例(如1ppm Kr/Xe 余H₂)、同位素丰度(如特定D₂丰度) |
| 漏率范围 | 10⁻¹~10⁻⁸mbar.L/s(支持单一气体漏率、混合气体总漏率/分漏率定制) |
| 阀门类型 | 手动阀(MDZV™)、常闭气动阀(PSOZV™,适合自动化控制/昂贵气体)、隔膜阀等 |
| 气室规格 | 50cc、75cc、100cc、160cc、200cc、300cc、500cc、1000cc,或客户定制 |
| 接头类型 |
入口:NPT⅛/¼(内/外丝)、KF16/KF25、VCR¼、CF16等 出口:KF16/KF25、VCR¼、NPT¼外丝等,支持定制 |
| 校准与证书 | 单校准点/多校准点定制,第三方CNAS证书加持 |
定制周期:常规定制3~5天;需CNAS证书时,周期延长1周。
1. 阀门操作:手柄顺时针旋转为关闭,逆时针旋转为打开;不使用时务必关闭阀门,减少漏率衰减和气体损耗。
2. 温度影响:标称漏率基于23.0℃环境,温度波动会导致漏率轻微变化(无源-0.6%/℃,有源0.1%/℃),建议在恒温环境中使用以保证精度。
3. 维护建议:无需频繁维护,若长期闲置,需关闭阀门并置于干燥、常温环境,避免剧烈碰撞。
1. 出厂检测:每台产品均通过睿米内部精密检测,附出厂检测报告,确保漏率、密封性等参数达标。
2. 第三方认证:可提供CNAS认可检测证书,满足计量溯源、行业合规要求。
3. 质量承诺:核心组件(微通道毛细管、金属密封件)使用寿命长,支持400Bar高压反复冲击,出现质量问题可联系售后处理。