

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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睿米公司的标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:
✪指定漏率,指定压力。
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,N2,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
✪自研RMI-MZV™零体积手动阀,自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。
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技术规格 |
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1 |
订货号 |
*RM5DMCL-6mb |
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漏率 |
1.0~3.9×10-6mbar.L/sec;(23℃) |
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*漏率可定制,加工公差:±30%* |
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3 |
介质 |
DMC碳酸二甲酯(Dimethyl carbonate,C3H6O3) |
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4 |
制作工艺 |
微通道毛细管 |
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5 |
阀门 |
RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀:x1 |
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常闭气动阀:x1 |
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气动压力:0.4-0.6Mpa, |
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接4mm或6mm气管 |
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6 |
出口压力 |
真空(<0.1pa) |
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7 |
温度系数 |
指数变化~9%/℃ |
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8 |
预抽时间 |
第一次,预抽~24h |
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正常使用~10分钟即可校准 |
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破真空后需重新预抽 |
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*预抽时间根据不同的液体介质、漏率相关,例如水H2O,DMC一般预抽时间需24h。 |
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9 |
规格尺寸 |
~205mm(长) x 105mm(最宽) |
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10 |
证书 |
默认附睿米®出厂检测证书, |
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或第三方CNAS检测证书(如需要) |
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11 |
注意事项 |
1、运输、储存、使用时,请将本漏孔固定于水平面上,以保证不会倾倒。 |
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2、使用过程中,必须确保2个气动阀打开。 |
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3、漏孔关闭需要严格按照先关下阀门,5min后关上阀门,以确保下次打开时对系统冲击最小。 |
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4、使用结束后,确保2个气动阀关闭后,才能破真空。 |
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睿米 ® 标准漏孔:全球行业领导者,开启漏孔技术新纪元
RealMeter® Calibrated Leak Standard: The global industry leader, inaugurating a new era of leak technology.
上海睿米仪器仪表有限公司,专注于标准漏孔的研发与生产。公司凭借多年的技术沉淀,成功攻克微通道毛细管技术难题,自主研发出一系列领先行业的产品。我们致力于为新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航天航空、核工业、医疗、食品包装等众多领域提供高精度、高性能的标准漏孔产品,助力各行业实现更高效、更精准的检测与控制。
在标准漏孔领域,睿米 ® 凭借卓越性能、创新工艺和广泛应用,成为全球行业领导者。我们的标准漏孔产品性能指标全面超越国内外同类产品,使用寿命更长,服务众多知名企业和科研机构,如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中国工程物理研究院、上海光源等。
In the field of calibrated leak standards, RealMeter® has become the global industry leader by virtue of its excellent performance, innovative technology and wide applications. The performance indicators of our calibrated leak standard products comprehensively surpass similar products at home and abroad. They have a longer service life and serve many well-known enterprises and scientific research institutions, such as Anhui Wanyi Science and Technology Co., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy of Engineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility, etc.
