| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 订货号 | RM541.0-6154JV0/6 |
| 2 | 气体 | 氮气 N2（6N） |
| 3 | 漏率 | 1.0 × 10⁻⁶ Pa·m³/sec · 入真空 加工公差 ±10%不确定度 ±10% |
| 4 | 气室/充气压力 | 160 cc，~1 MPa |
| 5 | 阀门 | 睿米®RMI-MDZV™ 零体积手动阀 呆体积＜0.1 μL，阀门开/闭不冲击高/超高真空 外漏＜1×10⁻¹¹ atm.cc/sec内漏＜1×10⁻¹⁰ atm.cc/sec（常规测试）＜5×10⁻⁸ atm.cc/sec（5bar 100%He） |
| 6 | 制作工艺 | RMI-MTC™ 微通道（Micro-Tube Capillary）· RMI-Metal™ 金属密封 抗震，抗摔对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持 400 Bar 高压反复冲击防堵塞性优异使用温度 −20~65 ℃漏率稳定温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃） |
| 7 | 出口连接 | VCR1/4 male 转 CF16 |
| 8 | 衰减设计 | 自然衰减：＜0.1%/年 使用衰减：~0.6%/年（100次 × 30分钟） 不使用时，务必保持阀门关闭！ |
| 9 | 规格尺寸 | ~280 mm（长）× 110 mm（最宽） |
| 10 | 证书 | 默认附 睿米® 出厂检测证书，或第三方 CNAS 检测证书（如需要） |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 | 微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 4 | 氮气 N2 |
| 3 | 漏率大小 a | 1.0 | a = 1.0（漏率 = a × 10^b，加工公差 ±10%） |
| 4 | 漏率量级 b | −6 | b = −6，即 10⁻⁶ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 5 | RMI-MDZV™ 手动阀，零体积（呆体积＜0.1 μL） |
| 7 | 入口接头/气室 | 4 | 160 cc 气室（充气压力 ~1 MPa） |
| 8 | 出口接头 | J | CF16（出口连接：VCR1/4 male 转 CF16） |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空 |
| 10 | 其他选项 | 0 | 无压力表 |
| 11 | 漏率单位 | 6 | Pa·m³/sec |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选（本机 −5） |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无（无气室）U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室（冷媒）9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气（正压）X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y（克/年）LHL/H（升/小时）TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值（仅无源漏孔） |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%（本机 10%） |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |
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