
半年前用来校准的那支漏孔,今天还读得出同一个数吗?这个问题看着简单,却决定了氦质谱检漏仪全部读数的可信度:校准基准一旦随时间或使用次数漂移,设备上每一次合格判定都会跟着系统性地偏。日常点检、周期校准、出货比对,要保证的从来不是“这一次测得准”,而是同一支漏孔在不同时间、不同次数下给出同一个值。
睿米® RM511.35-510INV0/6/0.2-G 把这种复现性直接做成了产品指标:标称漏率 1.35×10⁻⁵ Pa·m³/sec,标定基准为 @0.2bar 表压、出口入真空;通道做在 RMI-MTC™ 微通道毛细管里,一体化金属成型、不含胶水拼接,因此漏率没有方向性,经 1.2 米跌落 5 次、400Bar 高压反复冲击后依然稳定。温度修正 -0.6%/℃,测量不确定度 ±3.8%,工作温度 -20~65℃;单端 M5 外丝(带密封圈)可直接旋入设备测试口,随货附出厂检测证书,需要更高层级溯源可另出第三方 CNAS 报告。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌/生产厂家 | 睿米® / 上海睿米仪器仪表有限公司 |
| 2 | 订货号 | RM511.35-510INV0/6/0.2-G |
| 3 | 气体 | 100%He |
| 4 | 漏率 | 1.35 × 10⁻⁵ Pa·m³/sec @0.2Bar 表压 · 入真空 加工公差:±10%不确定度:±3.8%漏率无方向性温度修正:-0.6%/℃ |
| 5 | 接口规格 | 单端 M5 外丝(带密封圈),一体化设计,无需拼接和胶水,杜绝泄漏,漏率无方向性 |
| 6 | 核心工艺 | RMI-MTC™ 微通道(Micro-Tube Capillary) 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持 400Bar 高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃) |
| 7 | 规格尺寸 | ~长 38mm |
| 8 | 其他特性 | 抗震抗摔,跌落试验 1.2 米 5 次通过 |
| 9 | 证书/检测报告 | 默认附 睿米® 出厂检测证书,或第三方 CNAS 检测证书(如需要) |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 | 微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 | 氦气 He(100% He) |
| 3 | 漏率大小 a | 1.35 | a = 1.35(1.0~9.9 指定值,加工公差 ±10%) |
| 4 | 漏率量级 b | −5 | b = −5,即 10⁻⁵ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 0 | 无阀门 |
| 7 | 入口接头 | I | M5 外丝(单端,带密封圈,一体化设计) |
| 8 | 出口接头 | N | 无(单端 M5 外丝一体化设计,无需拼接与胶水) |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空 |
| 10 | 其他选项 | 0 | 无压力表 |
| 11 | 漏率单位 | 6 | Pa·m³/sec |
| 12 | 入气端压力值 | 0.2 | 0.2(气源压力值) |
| 13 | 压力单位 | G | Bar 表压 |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选(本机 −5) |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气(正压)X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值(仅无源漏孔) |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%(本机 10%) |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |