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有源He标准漏孔 RM515.0-61141V0/4

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所属分类:有源漏孔 产品简介
有源 He(100% He)标准漏孔 · 漏率 5.0×10⁻⁶ mbar·L/s,入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 160cc 气室可反复充气(约 8MPa)· 手动截止阀 + KF25 出口一体化 · RMI-MTC™ 微通道毛细管 + RMI-Metal™ 金属密封 · 衰减约 2.5%/年 · 使用温度 -20~65℃ · 出厂证书(可选 CNAS)。
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Detailed technical specifications详细技术规格
睿米® 微通道 有源He标准漏孔
RM515.0-61141V0/4 技术规格
漏率:5.0x10-6mbar.L/sec,入真空
RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减
更新日期:2026-10-19
有源He标准漏孔 RM515.0-61141V0/4 订货号解读(160cc 气室 · 手动截止阀 · KF25 · 漏率 5.0×10⁻⁶ mbar·L/sec 入真空)

检漏行业把基准传递的重担交给了一种气体:氦气。分子小,钻得过别的气体过不去的微缝;惰性,不与被检件起任何反应;空气里的本底只有百万分之几,信号干净得能数清个位数。这三个特性叠在一起,让「氦漏率」成了少数能被精确制造、精确复现的物理量,承接它的标准漏孔也就成了整条检漏链的源头。

把 5.0×10⁻⁶ mbar·L/s 的标称漏率装进一支 260mm 的气室组件,这件事由睿米® RM515.0-61141V0/4 来完成:160cc 气室(充气约 8MPa,可反复充气),出口入真空,加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%;手动截止阀与 KF25 出口一体化集成,通道为 RMI-MTC™ 微通道毛细管加 RMI-Metal™ 金属密封;衰减约 2.5%/年,使用温度 -20~65℃。想回到方法本源看氦检漏这条链路,可以读这篇《氦检漏的本质回归》。出厂附检测证书,可选第三方 CNAS 报告。

产品图片展示

RM515.0-61141V0/4 产品结构标注(充气阀门 · 160cc 气室 · 标签 · 内嵌集成微通道毛细管 · 手动截止阀 · KF25 出口连接)

常见问题(FAQ)

Q1: 同为有源 He 标准漏孔,RM511.2-71140V0/6 和 RM515.0-61141V0/4 怎么选?
A1: 两支是同一工艺平台上的两个量级档位。RM511.2 标称 1.2×10⁻⁷ Pa·m³/s(约 1.2×10⁻⁶ mbar·L/s),配 KF16 出口,适合本底要求更苛刻的高灵敏工位;RM515.0 标称 5.0×10⁻⁶ mbar·L/s,配 KF25 大通径出口,漏率量级高半档、气路响应更快,适合常规产线节拍。选型先看工位判定限落在哪个量级,再看现有管路的接口口径,两支也可以组成「低量级校准 + 高量级点检」的组合使用。
Q2: 漏孔的「入真空」和「入大气」两种口径,分别对应什么检漏工位?
A2: 入真空指漏孔出口接真空腔体或质谱室侧,标称值在真空端读取,对应氦质谱检漏仪的真空模式;入大气指漏孔经吸枪在常压端取样读取,对应吸枪法正压检漏。同一支漏孔在两种用法下的读数路径不同,比对数据前要确认标称口径与工位用法一致。订货号第 ⑨ 段(V 为真空、A 为大气)就是用来锁定这一口径的。
Q3: 空气中的氦本底只有约 5ppm,检漏仪为什么还能抓到泄漏?
A3: 本底低意味着信号纯净。氦质谱仪能从每百万分之几的空气本底里分辨出额外多出来的氦,检测下限才能压到 10⁻¹² 量级;如果用本底高的气体(比如氮气里的氩、空气里的水汽),信号会淹没在本底起伏里。做标准漏孔也正是借了这个便宜:极小的氦流也能被稳定读出,10⁻⁶ 甚至更低的漏率才值得标定、也才标得准。代价是对环境氦浓度敏感,车间里一旦有氦泄漏积聚,本底抬升会整体抬高读数,保持通风就是保护数据。
以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理,漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

10 项关键参数 · 一次说清楚

订货号:RM515.0-61141V0/4

以上技术规格根据客户配置参数编写,漏率、气体、接头与压力均支持按需定制,欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付:最大产能 100-300pcs/天,定制周期:3-5 天(如需 CNAS 证书 +7 天);根据指定压力 & 漏率定制,公差方向可选。
序号项目参数
1品牌/订货号睿米® RM515.0-61141V0/4
2气体100%He
3漏率5.0 × 10⁻⁶ mbar·L/sec · 入真空/大气
加工公差:±10%不确定度:±8.0%
4气室/充气压力160cc,约 8MPa
可反复充气设计
5阀门手动截止阀,集成 KF25 接一体化设计
6制作工艺RMI-MTC™ 微通道(Micro-Tube Capillary)+ RMI-Metal™ 金属密封
抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持 400Bar 高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃)
7出口连接KF25
8衰减设计约 2.5%/年
9规格尺寸260mm(长)× 90mm(最宽)
10证书默认附 睿米® 出厂检测证书,或第三方 CNAS 检测证书(如需要)
本表 10 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文,未作增删。

订货号:RM515.0-61141V0/4漏率 = a × 10b = 5.0 × 10⁻⁶ mbar·L/sec(入真空)· 有源型号(⑥ 手动阀 · ⑦ 160cc 气室 · ⑧ KF25)· 编号到 ⑪ 段

 
RM5
2
气体
类型
1
3
漏率
大小a
5.0
4
漏率
量级b
−6
5
校准点
个数n
1
6
阀门
类型
1
7
气室
规格
4
8
出口
接头
1
9
出口端
压力
V
10
其他
选项
0
11
漏率
单位
4
序号参数名称编码值参数详情
1漏孔类型5微通道毛细管工艺
2气体类型1氦气 He(100% He)
3漏率大小 a5.0a = 5.0(指定值,加工公差 ±10%)
4漏率量级 b−6b = −6,即 10⁻⁶ 量级
5校准点个数 n11 个校准点
6阀门类型1手动阀(手动截止阀,手柄拧 1~2 圈通断,严禁拧到底)
7气室规格4160cc 气室(充气约 8MPa,可反复充气设计)
8出口接头1KF25(与阀门一体化设计)
9出口端压力V真空
10其他选项0无压力表
11漏率单位4mbar·L/sec
配置参数:有源氦气 He(100% He)标准漏孔 · 漏率 5.0×10⁻⁶ mbar·L/sec(入真空/大气)· 160cc 气室(约 8MPa,可反复充气)· 手动截止阀 + KF25 出口一体化 · RMI-MTC™ 微通道毛细管 + RMI-Metal™ 金属密封 · 无压力表 · 漏率单位 mbar·L/sec
说明:编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号,不参与参数解读;⑤ 段为校准点个数,⑥ 段为阀门类型(1 = 手动阀),⑦ 段为气室规格(4 = 160cc);⑫⑬ 段仅无源漏孔使用,本支为有源型号,编号到 ⑪ 段。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P
黑色为 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 该订货号选中的参数值。
序号参数名称选中值可选参数配置
1漏孔类型5 · 微通道
5微通道毛细管工艺
2气体类型1 · He
1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3漏率大小 aa = 3.6
#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4漏率量级 bb = −5
+2 ~ −13全部量级可选(本机 −5)
5校准点个数1 · 单点
1单个校准点K整数·数量不限
6阀门类型0 · 无阀门
0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7入口接头B · NPT⅛外丝
0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8出口接头N · 无
N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9出口端压力V · 真空
V真空A大气(正压)X特定压力
10其他选项0 · 无压力表
0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11漏率单位4 · mbar·L/s
1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s
12气源压力值35
##.##数值(仅无源漏孔)
13压力单位M · MPa-表压
1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14气体浓度10 · 10%
##浓度百分比 ##%(本机 10%)
15总 / 分漏率P · 分漏率
P分漏率T总漏率
* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型,如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天(CNAS 证书 +1 周)。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。
上海睿米仪器仪表(RealMeter) 全球标准漏孔领导者 · 专业团队全程为您服务
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