
有源漏孔上那只手动隔膜阀,是一处容易被用反的地方。多数人上手的第一反应是「不用的时候就关上」,技术规范给出的却是相反的建议:不使用时阀门常开。道理在隔膜阀的受力方式上,阀门靠隔膜压紧密封,长期关闭意味着隔膜一直承压、密封面长期贴合,开启状态下气室与出口两侧压力平衡,隔膜反而回到不受力的状态。这一步做对,漏率的复现性才稳得住。
从一只 KF25 法兰往上数,依次是手动隔膜阀、160cc 气室和顶端那只充气阀门,这支 RM512.0-71741V0/6 就是一条从气室通到法兰的通路:气体 100% He,标称漏率 ~2.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec、出口入真空,不确定度 ±8.0%;气室充气约 5MPa,阀门与漏孔集成一体、无外漏;通道为 RMI-MTC™ 微通道毛细管加 RMI-Metal™ 金属密封,使用温度 -20~65℃,整机长 290mm、最宽 90mm。厂商给的衰减口径同样是常开条件下的:阀门 365×24 小时常开,漏率衰减约 1.6%/年。作为一支标准漏孔,它支持按指定漏率与接口定制,出厂附检测证书,可选第三方 CNAS 报告。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌/订货号 | 睿米® RM512.0-71741V0/6 |
| 2 | 气体 | 100%He |
| 3 | 漏率 | ~2.0x10-7Pa.m³/sec · 入真空/大气 不确定度:±8.0% |
| 4 | 气室/充气压力 | 160cc,~5MPa |
| 5 | 阀门 | 手动隔膜阀,截止阀,集成漏孔一体化设计,无外漏 |
| 6 | 制作工艺 | RMI-MTC™ 微通道毛细管(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™ 金属密封 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持 400Bar 高压反复冲击(气室最高 ~12MPa)防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃) |
| 7 | 出口连接 | KF25 |
| 8 | 漏率衰减 | ~1.6%/年(阀门 365x24 小时常开) 建议:不使用时,阀门常开! |
| 9 | 规格尺寸 | 长290mm x 90mm(宽) |
| 10 | 证书 | 默认附 睿米® 出厂检测证书,或第三方 CNAS 检测证书(如需要) |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 | 微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 | 氦气 He(100% He) |
| 3 | 漏率大小 a | 2.0 | a = 2.0(具体数值,非档位 L/M/H) |
| 4 | 漏率量级 b | −7 | b = −7,即 10⁻⁷ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 7 | 手动隔膜阀(手柄旋松即可,严禁死拧;顺时针关闭、逆时针打开) |
| 7 | 气室规格 | 4 | 160cc 气室(充气约 5MPa) |
| 8 | 出口接头 | 1 | KF25(与阀门一体化设计,无外漏) |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空 |
| 10 | 其他选项 | 0 | 无压力表 |
| 11 | 漏率单位 | 6 | Pa·m³/sec |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选(本机 −5) |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气(正压)X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值(仅无源漏孔) |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%(本机 10%) |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |