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有源He标准漏孔 RM512.0-71741V0/6

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所属分类:有源漏孔 产品简介
有源 He(100% He)标准漏孔 · 漏率 ~2.0×10⁻⁷ Pa·m³/s,入真空(不确定度 ±8.0%)· 160cc 气室充气约 5MPa · 手动隔膜阀 + KF25 出口一体化,无外漏 · RMI-MTC™ 微通道毛细管 + RMI-Metal™ 金属密封 · 漏率衰减约 1.6%/年(阀门 365×24 小时常开口径),建议不使用时阀门常开 · 使用温度 -20~65℃ · 长 290×90mm · 出厂证书(可选 CNAS)。
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Detailed technical specifications详细技术规格
睿米® 微通道 有源He标准漏孔
RM512.0-71741V0/6 技术规格
漏率:~2.0x10-7Pa.m³/sec,入真空
RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减
更新日期:2026-10-19
有源He标准漏孔 RM512.0-71741V0/6 订货号解读(手动隔膜阀 · 160cc 气室 · KF25 · 漏率 ~2.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec 入真空)

有源漏孔上那只手动隔膜阀,是一处容易被用反的地方。多数人上手的第一反应是「不用的时候就关上」,技术规范给出的却是相反的建议:不使用时阀门常开。道理在隔膜阀的受力方式上,阀门靠隔膜压紧密封,长期关闭意味着隔膜一直承压、密封面长期贴合,开启状态下气室与出口两侧压力平衡,隔膜反而回到不受力的状态。这一步做对,漏率的复现性才稳得住。

从一只 KF25 法兰往上数,依次是手动隔膜阀、160cc 气室和顶端那只充气阀门,这支 RM512.0-71741V0/6 就是一条从气室通到法兰的通路:气体 100% He,标称漏率 ~2.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec、出口入真空,不确定度 ±8.0%;气室充气约 5MPa,阀门与漏孔集成一体、无外漏;通道为 RMI-MTC™ 微通道毛细管加 RMI-Metal™ 金属密封,使用温度 -20~65℃,整机长 290mm、最宽 90mm。厂商给的衰减口径同样是常开条件下的:阀门 365×24 小时常开,漏率衰减约 1.6%/年。作为一支标准漏孔,它支持按指定漏率与接口定制,出厂附检测证书,可选第三方 CNAS 报告。

产品图片展示

RM512.0-71741V0/6 产品结构标注(充气阀门 · 160cc 气室 · 标签 · 内嵌集成微通道毛细管 · 手动隔膜阀 · KF25 出口连接)

常见问题(FAQ)

Q1: 为什么这支漏孔用隔膜阀,而不是更常见的截止阀?
A1: 订货号 ⑥ 段写成 7,就是手动隔膜阀。截止阀靠阀杆压紧阀座,密封面是金属对金属;隔膜阀靠一片隔膜把介质与阀杆隔开,压紧时气体只接触隔膜与阀体,外泄路径更短,这也是本型号能把阀门与漏孔做成一体、标称无外漏的原因。代价是隔膜属于易疲劳件,手柄旋松到位即可,严禁死拧到底;规格里「不使用时阀门常开」同样是在护隔膜,长期关闭会让隔膜一直承压贴合。
Q2: 气室最高能到 ~12MPa,为什么只充到 ~5MPa?
A2: 技术规格里这两个压力是两件事。~5MPa 是标称充气压力,气室最高 ~12MPa 是耐受上限,工艺条目另写到支持 400Bar 高压反复冲击。留出来的余量用来吃三样东西:温度升高带来的压力上涨、充气瞬间的过冲、以及反复充放造成的疲劳。选型时把「工作压力」与「耐压上限」分开看,就不会把耐压值当成可以长期充到的压力。
Q3: 漏孔为什么强调要在分子流条件下使用?
A3: 气体通过微通道的流态随通道尺寸与压力变化。压力较高时是黏滞流,流量与上下游压差、气体黏度直接相关,改写工况读数就跟着变;压力低到分子平均自由程远大于通道尺寸时进入分子流,流量只取决于分子撞击通道的几率,才成为一个稳定、可复现的漏率。氦分子小、平均自由程长,在同样的真空度下更容易进入分子流区,10⁻⁷ 量级的标定普遍用氦,这也是原因之一。
以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理,漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

10 项关键参数 · 一次说清楚

订货号:RM512.0-71741V0/6

以上技术规格根据客户配置参数编写,漏率、气体、接头与压力均支持按需定制,欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付:最大产能 100-300pcs/天,定制周期:3-5 天(如需 CNAS 证书 +7 天);根据指定压力 & 漏率定制,公差方向可选。
序号项目参数
1品牌/订货号睿米® RM512.0-71741V0/6
2气体100%He
3漏率~2.0x10-7Pa.m³/sec · 入真空/大气
不确定度:±8.0%
4气室/充气压力160cc,~5MPa
5阀门手动隔膜阀,截止阀,集成漏孔一体化设计,无外漏
6制作工艺RMI-MTC™ 微通道毛细管(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™ 金属密封
抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持 400Bar 高压反复冲击(气室最高 ~12MPa)防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃)
7出口连接KF25
8漏率衰减~1.6%/年(阀门 365x24 小时常开)
建议:不使用时,阀门常开!
9规格尺寸长290mm x 90mm(宽)
10证书默认附 睿米® 出厂检测证书,或第三方 CNAS 检测证书(如需要)
本表 10 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文,未作增删。

订货号:RM512.0-71741V0/6漏率 = a × 10b = 2.0 × 10⁻⁷ Pa·m³/sec(入真空/大气)· 有源型号(⑥ 手动隔膜阀 · ⑦ 160cc 气室 · ⑧ KF25)· 编号到 ⑪ 段

 
RM5
2
气体
类型
1
3
漏率
大小a
2.0
4
漏率
量级b
−7
5
校准点
个数n
1
6
阀门
类型
7
7
气室
规格
4
8
出口
接头
1
9
出口端
压力
V
10
其他
选项
0
11
漏率
单位
6
序号参数名称编码值参数详情
1漏孔类型5微通道毛细管工艺
2气体类型1氦气 He(100% He)
3漏率大小 a2.0a = 2.0(具体数值,非档位 L/M/H)
4漏率量级 b−7b = −7,即 10⁻⁷ 量级
5校准点个数 n11 个校准点
6阀门类型7手动隔膜阀(手柄旋松即可,严禁死拧;顺时针关闭、逆时针打开)
7气室规格4160cc 气室(充气约 5MPa)
8出口接头1KF25(与阀门一体化设计,无外漏)
9出口端压力V真空
10其他选项0无压力表
11漏率单位6Pa·m³/sec
配置参数:有源氦气 He(100% He)标准漏孔 · 漏率 ~2.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec(入真空/大气,不确定度 ±8.0%)· 160cc 气室(充气约 5MPa)· 手动隔膜阀 + KF25 出口一体化、无外漏 · RMI-MTC™ 微通道毛细管 + RMI-Metal™ 金属密封 · 无压力表 · 漏率单位 Pa·m³/sec
说明:编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号,不参与参数解读;③ 段 a 可为具体数值(如本支 2.0),也可写档位 L(1.0-3.9)/ M(4.0-6.9)/ H(7.0-9.9);⑥ 段阀门 1 = 手动、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀;⑦ 段 4 = 160cc;⑧ 段 1 = KF25、0 = KF16;⑫⑬ 段仅无源漏孔使用,本支为有源型号,编号到 ⑪ 段。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P
黑色为 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 该订货号选中的参数值。
序号参数名称选中值可选参数配置
1漏孔类型5 · 微通道
5微通道毛细管工艺
2气体类型1 · He
1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3漏率大小 aa = 3.6
#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4漏率量级 bb = −5
+2 ~ −13全部量级可选(本机 −5)
5校准点个数1 · 单点
1单个校准点K整数·数量不限
6阀门类型0 · 无阀门
0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7入口接头B · NPT⅛外丝
0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8出口接头N · 无
N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9出口端压力V · 真空
V真空A大气(正压)X特定压力
10其他选项0 · 无压力表
0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11漏率单位4 · mbar·L/s
1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s
12气源压力值35
##.##数值(仅无源漏孔)
13压力单位M · MPa-表压
1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14气体浓度10 · 10%
##浓度百分比 ##%(本机 10%)
15总 / 分漏率P · 分漏率
P分漏率T总漏率
* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型,如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天(CNAS 证书 +1 周)。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。
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