有源He标准漏孔 RM515.0-71340V0/4 技术规范-上海睿米

Detailed technical specifications详细技术规格

睿米® 微通道RMI-MTC™ 有源He标准漏孔

RM515.0-71340V0/4 技术规范

漏率：5.0x10-7mbar.L/sec，入真空

RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减

更新日期：2026-10-19

有源He标准漏孔 RM515.0-71340V0/4 订货号解读（手动角阀 · 160cc 气室 · KF16 出口 · 漏率 5.0×10⁻⁷ mbar·L/sec 入真空）

同一只 160cc 气室，充 5MPa 和充 3MPa，差别不只是能用多久。压力越高，气室内外压差越大，穿过密封件与阀座的渗透量跟着增加，标称值在一年里往下走的幅度也更大。低量程、长周期的场合，把压力降下来换一段更慢的衰减，往往比多存一点氦更划算；代价是气室里存的氦总量减少，补气周期相应缩短。

按 ~0.4%/年折算，五年后读数大约落在 4.9×10⁻⁷ 一带，这个幅度里已经含了气室压力的自然下降。睿米® RM515.0-71340V0/4 输出 100% He，标称 5.0×10⁻⁷ mbar·L/sec、入真空，加工公差 ±10%、不确定度 ±8.0%；160cc 气室充 ~3MPa，可反复充气；睿米®自研手动角阀与 KF16 出口集成一体，通道为 RMI-MTC™ 微通道毛细管加 RMI-Metal™ 金属密封；支持 400Bar 高压反复冲击，-20~65℃ 可直接使用；整机长 290mm、最宽 80mm，出厂附检测证书，有溯源要求可加做第三方 CNAS 报告。

产品图片展示

RM515.0-71340V0/4 产品结构标注（充气阀门 · 160cc 气室 · 标签 · 内嵌集成微通道毛细管 · 手动角阀 · 出口连接端）

常见问题（FAQ）

Q1: 手动角阀的流道拐了 90°，对漏率有没有影响？

A1: 角阀的进出口成直角，气体进阀后转一次向。好处是结构短、能直接挂在瓶体下端，手轮朝外便于操作；代价是转向处形成一个固定的小容积腔，关闭后腔里残留的氦会缓慢释放，重新开机时读数表现为一小段拖尾。这个腔体属于固定几何，标定时一并计入，不影响标称值的可复现性。真正会改变读数的是开度，按规程拧到位即可，不必也不应死拧到底。

Q2: 氦检已经过了，为什么产线还要配气密性漏孔？

A2: 两套方法管的漏不是同一件事。氦检灵敏度高，能把极微小的漏找出来，但它证明的是「没有超过限值的微漏」，不等于整机在额定压力下的总泄漏量合格；气密性检测用实际工作介质（空气或氮气）加压，读的是单位时间泄漏体积，直接对应产线判据和客户验收口径。所以常见做法是串联使用：氦检先筛微漏，再用气密性漏孔核查气密工位的示值，两边都过才算闭环。

Q3: 补气到 3MPa 之后，读数会回到原来的数吗？

A3: 会回到接近，但不会精确回到出厂值。气室重新充到同一压力后，漏率主要由通道几何决定，这部分是稳定的；差出来的那一点来自两处，一是通道与密封件在使用中已经产生的缓慢衰减（本型号约 0.4%/年），二是补气时的温度与压力没有完全复现标定条件。做法是补气后静置到温度平衡，再按证书给出的条件复测，把实测值记进台账，而不是拿它跟几年前的出厂值硬比。

以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理，漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

10 项关键参数 · 一次说清楚

订货号：RM515.0-71340V0/4

以上技术规格根据客户配置参数编写，漏率、气体、接头与压力均支持按需定制，欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付：最大产能 100-300pcs/天，定制周期：3-5 天（如需 CNAS 证书 +7 天）；根据指定压力 & 漏率定制，公差方向可选。

序号	项目	参数
1	品牌/订货号	睿米® RM515.0-71340V0/4
2	气体	100%He
3	漏率	5.0x10-7mbar.L/sec · 入大气/真空加工公差：±10%不确定度：±8.0%
4	气室/充气压力	160cc，~3Mpa 可反复充气设计
5	阀门	睿米®自研手动截止阀（角阀），集成 KF16 一体化设计
6	制作工艺	RMI-MTC™ 微通道（Micro-Tube Capillary）, RMI-Metal™ 金属密封抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持 400Bar 高压反复冲击防堵塞性优异使用温度：-20~65℃漏率稳定温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃）
7	出口连接	KF16
8	漏率衰减	~0.4%/年（阀门 365x24 小时常开）
9	规格尺寸	~290mm（长）x 80mm（最宽）
10	证书	默认附睿米® 出厂检测证书，或第三方 CNAS 检测证书（如需要）

本表 10 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文，未作增删。

订货号：RM515.0-71340V0/4漏率 = a × 10^b = 5.0 × 10⁻⁷ mbar·L/sec（入真空）· 有源型号（⑥ 手动角阀 · ⑦ 160cc 气室 · ⑧ KF16）· 编号到 ⑪ 段

RM5

2
气体
类型

3
漏率
大小a

5.0

4
漏率
量级b

−7

5
校准点
个数n

6
阀门
类型

7
气室
规格

8
出口
接头

9
出口端
压力

10
其他
选项

11
漏率
单位

序号	参数名称	编码值	参数详情
1	漏孔类型	5	微通道毛细管工艺
2	气体类型	1	氦气 He（100% He）
3	漏率大小 a	5.0	a = 5.0（具体数值，非档位 L/M/H）
4	漏率量级 b	−7	b = −7，即 10⁻⁷ 量级
5	校准点个数 n	1	1 个校准点
6	阀门类型	3	手动角阀（睿米®自研手动截止阀·角阀；手柄拧 1~2 圈即可，严禁拧到底；顺时针关闭、逆时针打开）
7	气室规格	4	160cc 气室（充气 ~3MPa，可反复充气设计）
8	出口接头	0	KF16（与阀门一体化设计）
9	出口端压力	V	真空（入真空）
10	其他选项	0	无压力表
11	漏率单位	4	mbar·L/sec

配置参数：有源氦气 He（100% He）标准漏孔 · 漏率 5.0×10⁻⁷ mbar·L/sec（入真空，加工公差 ±10%、不确定度 ±8.0%）· 160cc 气室（充气 ~3MPa，可反复充气）· 睿米®自研手动角阀 + KF16 出口一体化 · RMI-MTC™ 微通道毛细管 + RMI-Metal™ 金属密封 · 无压力表 · 漏率单位 mbar·L/sec

说明：编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号，不参与参数解读；③ 段 a 可为具体数值（如本支 5.0），也可写档位 L（1.0-3.9）/ M（4.0-6.9）/ H（7.0-9.9）；④ 段 b 取 -9~0 之间任意值；⑥ 段阀门 1 = 手动、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀；⑦ 段气室 U = 50 / V = 75cc / 1 = 100cc / 4 = 160cc / 3 = 200cc / 2 = 300cc / 8 = 500cc / 6 = 1000cc；⑧ 段出口 0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR¼ male、D = 吸枪适配口、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03；⑪ 段漏率单位 1 = atm·cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar·L/sec、6 = Pa·m³/sec、8 = g/y、TL = torr·L/s、LH = L/hour；⑫⑬ 段仅无源漏孔使用，本支为有源型号，编号到 ⑪ 段。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P

蓝框为 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 该订货号选中的参数值。

序号	参数名称	选中值	可选参数配置
1	漏孔类型	5 · 微通道	5微通道毛细管工艺
2	气体类型	1 · He	1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3	漏率大小 a	a = 3.6	#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4	漏率量级 b	b = −5	+2 ~ −13全部量级可选（本机 −5）
5	校准点个数	1 · 单点	1单个校准点K整数·数量不限
6	阀门类型	0 · 无阀门	0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7	入口接头	B · NPT⅛外丝	0无（无气室）U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室（冷媒）9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8	出口接头	N · 无	N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9	出口端压力	V · 真空	V真空A大气（正压）X特定压力
10	其他选项	0 · 无压力表	0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11	漏率单位	4 · mbar·L/s	1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y（克/年）LHL/H（升/小时）TLTorr.L/s
12	气源压力值	35	##.##数值（仅无源漏孔）
13	压力单位	M · MPa-表压	1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14	气体浓度	10 · 10%	##浓度百分比 ##%（本机 10%）
15	总 / 分漏率	P · 分漏率	P分漏率T总漏率

* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型，如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天（CNAS 证书 +1 周）。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。

有源He标准漏孔 RM515.0-71340V0/4