

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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应用领域:
这是氧气标准漏孔最关键、最广泛的应用领域之一,直接关系到人身安全。
a. 医疗设备制造与质检:呼吸机、麻醉机、制氧机:这些设备的氧气通路必须严格密封。
b. 药品包装密封性测试:许多药品(尤其是注射液、生物制剂、疫苗)对氧气极其敏感,需要存放在密封的容器中,需要隔绝氧气。
2. 高端制造与真空技术
a. 半导体芯片制造:芯片制造过程中的许多关键步骤(如化学气相沉积、氧化)需要在超高纯度的工艺气氛或超高真空环境下进行。反应腔室或气体管道微小的氧气泄漏都会污染工艺环境,导致整批晶圆报废。氧气标准漏孔用于校准在线泄漏监测系统,确保其能及时发现极其微小的泄漏,保障工艺的纯净度和产品良率。
b. 真空镀膜行业等。
3. 新能源与科学研究
a. 燃料电池研发与测试:氢燃料电池的核心是质子交换膜,它需要完全隔绝氢气和氧气(空气)。微小的氧气泄漏(或氢气泄漏到氧气侧)会严重影响电池的效率、性能和寿命。氧气标准漏孔用于校准检测燃料电池堆密封性的设备,确保其能够精确测量氧气的泄漏率
b.尖端科学研究装置:诸如粒子加速器、同步辐射光源、核聚变实验装置(如托卡马克)等,都需要维持极高的真空度(极端情况下可达10⁻¹⁰ Pa甚至更高)。微小的泄漏都是不可接受的。氧气是大气的主要成分之一,氧气标准漏孔是校准这些庞大复杂真空系统检漏仪的必备工具。
1. 医疗与生命科学(对安全要求极高)
★手动,零体积阀,呆体积<0.1μL| 阀门开关对RGA/高真空系统零冲击
★适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、RGA残余气体分析,昂贵气体等场景
★支持所有气体10+1 ~10-8mbar.L/s漏率定制: Air/XCDA, He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6, 混气...
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技术规格 |
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1 |
订货号 |
RM5O25.8-51545V0/4 |
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2 |
气体 |
O2(100%) |
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3 |
漏率 |
5.8x10-5mbar.L/sec 入真空 制作公差:±10% |
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不确定度:±10% |
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4 |
气室/充气压力 |
160cc,~2.0MPa |
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5 |
阀门 |
RMI-MZV™零体积手动阀 |
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※呆体积:0.098μL,开/关阀门气体接近0损失, 对系统0冲击 |
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※内漏:<5x10-10atm.cc/sec ※外漏:<1x10+11atm.cc/sec |
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6 |
制作工艺 |
RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击, 防堵塞性优异, 使用温度:-20~65℃, 漏率稳定, 温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃). |
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7 |
出口连接 |
VCR ¼ Male |
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8 |
衰减 |
使用衰减:<3.0%/年(100次x60分钟)不使用时,务必保持阀门关闭! |
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10 |
规格尺寸 |
280mm(长) x 80mm(最宽) |
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11 |
证书 |
默认附睿米®出厂检测证书,或第三方CNAS检测证书(如需要) |

睿米 ® 标准漏孔:全球行业领导者,开启漏孔技术新纪元
RealMeter® Calibrated Leak Standard: The global industry leader, inaugurating a new era of leak technology.
上海睿米仪器仪表有限公司,专注于标准漏孔的研发与生产。公司凭借多年的技术沉淀,成功攻克微通道毛细管技术难题,自主研发出一系列领先行业的产品。我们致力于为新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航天航空、核工业、医疗、食品包装等众多领域提供高精度、高性能的标准漏孔产品,助力各行业实现更高效、更精准的检测与控制。
在标准漏孔领域,睿米 ® 凭借卓越性能、创新工艺和广泛应用,成为全球行业领导者。我们的标准漏孔产品性能指标全面超越国内外同类产品,使用寿命更长,服务众多知名企业和科研机构,如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中国工程物理研究院、上海光源等。
In the field of calibrated leak standards, RealMeter® has become the global industry leader by virtue of its excellent performance, innovative technology and wide applications. The performance indicators of our calibrated leak standard products comprehensively surpass similar products at home and abroad. They have a longer service life and serve many well-known enterprises and scientific research institutions, such as Anhui Wanyi Science and Technology Co., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy of Engineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility, etc.
