睿米® 把阀门做成零体积的这支氮气N2标准漏孔 RM541.0-4154JV0/6，② 段 4 是 N2（6N 高纯氮），③ 段 1.0 配 ④ 段 −4 写成 1.0×10⁻⁴，⑤ 段 1 是单个校准点，⑥ 段 5 是 MDZV 零体积手动阀，⑦ 段 4 是 160cc 气室、充气压力约 5MPa，⑧ 段 J 是 CF16 出口、随机配 VCR1/4 male 转 CF16 接头，⑨ 段 V 表示出口接真空侧，⑩ 段 0 表示不带压力表，⑪ 段 6 把单位定在 Pa·m³/sec。标称漏率 1.0×10⁻⁴ Pa·m³/sec，入真空，加工公差 ±10%，不确定度 ±10%。阀门的三个数才是它跟常规型号的分界线：呆体积小于 0.1μL，外漏小于 1×10⁻¹¹ atm.cc/sec，内漏常规测试小于 1×10⁻¹⁰ atm.cc/sec、5bar 100% 氦下小于 5×10⁻⁸ atm.cc/sec。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封，400Bar 高压反复冲击不堵不漏，−20~65℃ 可用，有源型号温度敏感性 0.1%/℃，1.2 米跌落 5 次通过，整支约 280mm 长、110mm 最宽。衰减给了两个数：自然衰减小于 0.1%/年，使用衰减约 2.8%/年，括号里写着 100 次×30 分钟，意思是每开关一百次、每次在系统上挂三十分钟，一年下来读数掉这么多。0.1μL 有多大可以拿管子比一下：一段 10cm 长、内径 3mm 的管子容量约 0.7mL，是它的七千倍，开关阀门时被放进来或带出去的气体极少，四极质谱和超高真空系统的本底不会被这一下推起来。这一支的用法偏向频繁开关的场景，RGA 残余气体分析、半导体腔体、超高真空系统、昂贵气体比对，都是关一次阀换一次样、要求本底马上回得去的工位。作为一支零体积阀型号，它出厂附睿米® 检测证书，需要第三方 CNAS 报告可另做。频繁开关换来的是 2.8%/年 的使用衰减，用它的前提是台账记得细，什么时候开的、挂多久，都要留痕。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 订货号 | 睿米® RM541.0-4154JV0/6 |
| 2 | 气体 | 氮气N2（6N） |
| 3 | 漏率 | 1.0x10-4Pa.m³/sec 入真空 加工公差：±10%不确定度：±10%单个校准点（⑤=1）⑪ 段 6 = Pa·m³/sec |
| 4 | 气室/充气压力 | 160cc，~5MPa 可反复充气设计⑦ 段 4 = 160cc |
| 5 | 阀门 | 睿米®RMI-MDZV™零体积手动阀 呆体积：<0.1μL，阀门开/闭不冲击高/超高真空外漏 <1x10-11atm.cc/sec内漏 <1x10-10atm.cc/sec（常规测试）<5x10-8atm.cc/sec（5bar 100%He）顺时针关闭，逆时针打开 |
| 6 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary）· RMI-Metal™金属密封 抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度：-20~65℃漏率稳定温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃） |
| 7 | 出口连接 | VCR1/4 male 转 CF16 ⑧ 段 J = CF16，随机配转接头 |
| 8 | 衰减设计 | 自然衰减：<0.1%/年 使用衰减：~2.8%/年（100次x30分钟）不使用时，务必保持阀门关闭！ |
| 10 | 规格尺寸 | ~280mm(长) x 110mm(最宽) |
| 11 | 证书 | 默认附 睿米®出厂检测证书，或第三方 CNAS检测证书（如需要） |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | RM5 | 睿米微通道毛细管工艺（有源，自带气室） |
| 2 | 气体类型 | 4 | 氮气 N2（6N 高纯） |
| 3 | 漏率大小 a | 1.0 | a = 1.0（定值填法；若改填档位 L 则交付区间为 1.0~2.0，加工公差 ±10%） |
| 4 | 漏率量级 b | −4 | b = −4，即 10⁻⁴ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 5 | MDZV 零体积手动阀（RMI-MDZV™）：呆体积 <0.1μL，开/闭不冲击高与超高真空；顺时针关闭、逆时针打开，不使用时务必保持关闭 |
| 7 | 气室规格 | 4 | 160cc 气室（同段位其他档：U = 50、V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制）；充气压力约 5MPa，可反复充气 |
| 8 | 出口接头 | J | CF16（随机配 VCR1/4 male 转 CF16；同段位其他档：0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、W = R¼ 外丝、Z = RBE03） |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空（气室正压、出口接真空侧；A = 大气、X = 特殊压力） |
| 10 | 压力表 | 0 | 无压力表（G = 有）；气室余压靠充气台账与补气记录管理 |
| 11 | 漏率单位 | 6 | Pa·m³/sec（同段位其他档：1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar.L/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour） |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选（本机 −5） |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无（无气室）U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室（冷媒）9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气（正压）X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y（克/年）LHL/H（升/小时）TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值（仅无源漏孔） |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%（本机 10%） |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |
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