
睿米® 靠一只三通电磁阀控气的这支有源He标准漏孔 CL511.54-712U0V0/4,① 段 CL5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道工艺的定制款,② 段 1 是 100% He,③ 段 1.54 配 ④ 段 −7 写成 1.54×10⁻⁷,⑤ 段 1 说明它只有一个校准点,⑥ 段 2 是三通电磁阀、24VDC 供电,⑦ 段 U 是 50cc 气室,⑧ 段 0 是 KF16 出口,⑨ 段 V 指出口接真空侧,⑩ 段 0 是本体上没有压力表,⑪ 段 4 把主单位定在 mbar·L/sec,编号到 ⑪ 段收尾,有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。标称漏率 1.54×10⁻⁷ mbar·L/sec,入真空,加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%。50cc 气室加三通电磁阀是这一支的结构主线:气室吃住氦,阀决定什么时候放出来,24VDC 给信号,现场不用手去拧。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,400Bar 高压反复冲击不堵不漏,−20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求,1.2 米跌落 5 次通过,整支 135mm 长、95mm 最宽。衰减标 ~2.1%/年,括号里写着 5min/day*1次,意思是每天在系统上挂五分钟、一天一次,一年下来读数掉这么多。三通的那个第三口值得单独说一句:它有进气、出气、泄放三个通道,常用接法是断电把气室与出口隔开、把出口侧泄放掉,通电才把气室接通出口;接线时只接两个口、把泄放口堵死,阀切换时气室里那点氦没有去处,会顺着密封面往出口挤,关断就不干净了,实际接法以阀体标识与出厂说明为准。气室 50cc 配 10⁻⁷ 这一档刚好,容积再大同样的漏率能撑更久,充放气周期也跟着拉长。标签上实测写 1.55×10⁻⁷,与标称 1.54 的差落在 ±10% 加工公差之内,读标签和读证书是一件事。作为一支有源标准漏孔,它出厂附睿米® 检测证书,需要第三方 CNAS 报告可另做。接到系统上之前先确认阀的供电与泄放口去处,剩下的交给气室压力与温度,装好之后读数会自己稳住。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌 | 睿米® |
| 2 | 订货号 | CL511.54-712U0V0/4 |
| 3 | 气体 | 100%He |
| 4 | 漏率 | 1.54x10-7mbar.L/sec 入真空 加工公差:±10%不确定度:±8.0%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 4 = mbar.L/sec |
| 5 | 气室/充气压力 | 50cc ⑦ 段 U = 50cc 气室 |
| 6 | 阀门 | 3 通电磁阀,24VDC ⑥ 段 2 = 电磁阀电信号控制通断,断电回到关断状态 |
| 7 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary)· RMI-Metal™金属密封 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃) |
| 8 | 出口连接 | KF16 ⑧ 段 0 = KF16 |
| 9 | 衰减 | ~2.1%/年 测试条件:5min/day*1次不使用时,务必保持阀门关闭! |
| 10 | 规格尺寸 | 135mm(长)x 95mm(最宽) |
| 11 | 证书 | 默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要) |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | CL5 | 睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺(定制款,CL 前缀;标准型为 RM5) |
| 2 | 气体类型 | 1 | 100% He(高纯氦气) |
| 3 | 漏率大小 a | 1.54 | a = 1.54(指定值,加工公差 ±10%) |
| 4 | 漏率量级 b | −7 | b = −7,即 10⁻⁷ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 2 | 3 通电磁阀,24VDC(同段位其他档:0 = 无、1 = 手动、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀) |
| 7 | 气室规格 | U | 50cc 气室(同段位其他档:V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制) |
| 8 | 出口接头 | 0 | KF16(同段位其他档:1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03) |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气(正压)、X = 指定压力) |
| 10 | 压力表 | 0 | 无压力表(同段位其他档:G = 有) |
| 11 | 漏率单位 | 4 | mbar·L/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、6 = Pa.m³/sec、TL = torr.L/s、LH = L/hour) |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选(本机 −5) |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气(正压)X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值(仅无源漏孔) |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%(本机 10%) |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |