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有源He标准漏孔1.54x10-7mbar.L/sec

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所属分类:有源漏孔 产品简介
有源 He(100% 氦气)标准漏孔 · 定制款(① 段 CL5)· 漏率 1.54×10⁻⁷ mbar·L/sec,入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单校准点 · ⑥ 段 2 = 3 通电磁阀 24VDC(电信号控制通断,现场不用手动拧)· ⑦ 段 U = 50cc 气室 · ⑧ 段 0 = KF16 出口 · 无压力表(⑩=0)· ⑪ 段 4 = mbar·L/sec · 11 段编码,有源型号无 ⑫⑬⑮ · 衰减 ~2.1%/年(5min/day*1次)· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封,400Bar 高压反复冲击、防堵塞 · 使用温度 -20~65℃,有源温度敏感性 0.1%/℃ · 135mm(长)x 95mm(最宽)· 抗震抗摔,1.2 米跌落 5 次通过 · 默认附睿米® 出厂检测证书(可选 CNAS)。
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Detailed technical specifications详细技术规格
睿米® 微通道 有源He标准漏孔技术规格
订货号:睿米®CL511.54-712U0V0/4
漏率:1.54x10-7mbar.L/sec,入真空
RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减
更新日期:2026-11-04
有源He标准漏孔 CL511.54-712U0V0/4 订货号解读(① CL5 睿米® RMI-MTC™ 微通道定制款 · ②1 100% He · ③1.54 ④−7 = 1.54×10⁻⁷ · ⑤1 单校准点 · ⑥2 3 通电磁阀 24VDC · ⑦U 50cc 气室 · ⑧0 KF16 出口 · ⑨V 入真空 · ⑩0 无压力表 · ⑪4 mbar.L/sec · 漏率 1.54×10⁻⁷ mbar.L/sec 入真空 · 衰减 2.1%/年 · 135mm×95mm)

睿米® 靠一只三通电磁阀控气的这支有源He标准漏孔 CL511.54-712U0V0/4,① 段 CL5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道工艺的定制款,② 段 1 是 100% He,③ 段 1.54 配 ④ 段 −7 写成 1.54×10⁻⁷,⑤ 段 1 说明它只有一个校准点,⑥ 段 2 是三通电磁阀、24VDC 供电,⑦ 段 U 是 50cc 气室,⑧ 段 0 是 KF16 出口,⑨ 段 V 指出口接真空侧,⑩ 段 0 是本体上没有压力表,⑪ 段 4 把主单位定在 mbar·L/sec,编号到 ⑪ 段收尾,有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。标称漏率 1.54×10⁻⁷ mbar·L/sec,入真空,加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%。50cc 气室加三通电磁阀是这一支的结构主线:气室吃住氦,阀决定什么时候放出来,24VDC 给信号,现场不用手去拧。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,400Bar 高压反复冲击不堵不漏,−20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求,1.2 米跌落 5 次通过,整支 135mm 长、95mm 最宽。衰减标 ~2.1%/年,括号里写着 5min/day*1次,意思是每天在系统上挂五分钟、一天一次,一年下来读数掉这么多。三通的那个第三口值得单独说一句:它有进气、出气、泄放三个通道,常用接法是断电把气室与出口隔开、把出口侧泄放掉,通电才把气室接通出口;接线时只接两个口、把泄放口堵死,阀切换时气室里那点氦没有去处,会顺着密封面往出口挤,关断就不干净了,实际接法以阀体标识与出厂说明为准。气室 50cc 配 10⁻⁷ 这一档刚好,容积再大同样的漏率能撑更久,充放气周期也跟着拉长。标签上实测写 1.55×10⁻⁷,与标称 1.54 的差落在 ±10% 加工公差之内,读标签和读证书是一件事。作为一支有源标准漏孔,它出厂附睿米® 检测证书,需要第三方 CNAS 报告可另做。接到系统上之前先确认阀的供电与泄放口去处,剩下的交给气室压力与温度,装好之后读数会自己稳住。

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有源He标准漏孔 CL511.54-712U0V0/4 实物结构标注(气室 50cc · 产品标签 1.55×10⁻⁷ mbar.L/s ±8.0% 入真空 温度 23.0℃ 衰减 2.1%/年 · 内嵌集成微通道毛细管 · 3 通电磁阀 24VDC · KF16 接口)

常见问题(FAQ)

要按节拍自动通断,选这支的电磁阀款还是手动阀款?
看你的工位是「人守着」还是「程序管着」。手动阀款只有通、断两个状态,人到位、手拧一圈,氦才开始往系统里走,一天开关两三次的抽检工位用它最省事,也不用管供电和接线。电磁阀款由 24VDC 信号驱动,给电就切换,能挂在自动校准台上按节拍重复通断,无人值守也跑得下去。三通比两通多出来的那一路是泄放:切换的瞬间,出口侧管路里残存的那点氦要有地方去,让它顺着泄放口走掉,下一次通气的起点才干净。代价是电磁阀多了供电与阀位两件事要管,接线错了或供电不稳,症状往往被误判成漏孔本身出问题。
电磁阀是 24VDC 的,现场供电断了这支漏孔还能用吗?
能用,读数不会因为断电而改变,但那段时间放不出氦。这类阀出厂按常闭逻辑做:没通电时气室与出口断开,断电就等于回到关断状态,出口侧同时泄放掉。漏孔本身是一段固定流导,阀只决定这口气放不放出去,所以断电不影响它的标称值。真正要避开的是在断电状态下做校准:那时出口没有氦,检漏仪读的是本底,很容易被当成漏孔衰减了。断电时间拉长以后,气室压力会随室温漂移,重新上电前让整支回到室温、确认阀位指示再通气。常开型也做,具体以阀体标识与出厂说明为准。
阀门和接头串在微通道后面,会不会把标称漏率改掉?
在阀全开、接头不漏的前提下,影响小到读不出来。串联流导的算法是倒数相加:1/C总 = 1/C通道 + 1/C阀 + 1/C接头。通道本身是 10⁻⁷ 这一档,流导极小,阀全开时那点阻力比通道小得多,加起来几乎还是通道自己的值。真正会改数的是另外几件事:阀没开到位(半开等于在通道后面又加了一段阻力)、接头没拧紧或有划伤、出口管路又细又长。所以证书上的值对应的是「出口接头处」的漏率,管路接长了以后现场的读数会低一点,那不是漏孔变了。做比对时把阀开到底、接头下压到位,剩下的差异交给温度系数去算。
以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理,漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

11 项关键参数 · 一次说清楚

订货号:CL511.54-712U0V0/4

以上技术规格根据客户配置参数编写,气体、漏率、气室容积与出口接头均支持按需定制,欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付:最大产能 100-300pcs/天,定制周期:3-5 天(如需 CNAS 证书 +7 天);根据指定漏率 & 气室配置定制,公差方向可选。
序号项目参数
1品牌睿米®
2订货号CL511.54-712U0V0/4
3气体100%He
4漏率1.54x10-7mbar.L/sec 入真空
加工公差:±10%不确定度:±8.0%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 4 = mbar.L/sec
5气室/充气压力50cc
⑦ 段 U = 50cc 气室
6阀门3 通电磁阀,24VDC
⑥ 段 2 = 电磁阀电信号控制通断,断电回到关断状态
7制作工艺RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary)· RMI-Metal™金属密封
抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃)
8出口连接KF16
⑧ 段 0 = KF16
9衰减~2.1%/年
测试条件:5min/day*1次不使用时,务必保持阀门关闭!
10规格尺寸135mm(长)x 95mm(最宽)
11证书默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要)
本表 11 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文(序号 1~11),未作增删。

订货号:CL511.54-712U0V0/4漏率 = a × 10b = 1.54 × 10⁻⁷ mbar·L/sec(入真空 = ⑨ 段 V)· 有源带气室型号(⑥ 2 = 3 通电磁阀 24VDC · ⑦ U = 50cc 气室 · ⑧ 0 = KF16 出口)· ⑪ 段 4 = mbar·L/sec · 单一气体,无 ⑫⑬⑮ 段,共 11 段

 
CL5
2
气体
类型
1
3
漏率
大小a
1.54
4
漏率
量级b
−7
5
校准点
个数n
1
6
阀门
类型
2
7
气室
规格
U
8
出口
接头
0
9
出口端
压力
V
10
压力
表
0
11
漏率
单位
4
序号参数名称编码值参数详情
1漏孔类型CL5睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺(定制款,CL 前缀;标准型为 RM5)
2气体类型1100% He(高纯氦气)
3漏率大小 a1.54a = 1.54(指定值,加工公差 ±10%)
4漏率量级 b−7b = −7,即 10⁻⁷ 量级
5校准点个数 n11 个校准点
6阀门类型23 通电磁阀,24VDC(同段位其他档:0 = 无、1 = 手动、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀)
7气室规格U50cc 气室(同段位其他档:V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制)
8出口接头0KF16(同段位其他档:1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03)
9出口端压力V真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气(正压)、X = 指定压力)
10压力表0无压力表(同段位其他档:G = 有)
11漏率单位4mbar·L/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、6 = Pa.m³/sec、TL = torr.L/s、LH = L/hour)
配置参数:有源 He(100%)标准漏孔 · 定制款(① CL5)· 漏率 1.54×10⁻⁷ mbar·L/sec 入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单个校准点 · 50cc 气室(⑦ 段 U)· 3 通电磁阀 24VDC(⑥ 段 2)· KF16 出口 · 无压力表 · 漏率单位 mbar·L/sec · 衰减 ~2.1%/年(5min/day*1次)· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封 · 135mm(长)x 95mm(最宽)
说明:编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号,不参与参数解读;③ 段 a 可为具体数值(如本支 1.54),也可写档位 L(1.0-3.9)/ M(4.0-6.9)/ H(7.0-9.9);④ 段 b 取 -9~0 之间任意值(本支 -7);⑤ 段填校准点个数,本支 1;⑥ 段阀门 0 = 无、1 = 手动、2 = 电磁阀(3 通电磁阀 24VDC)、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀;⑦ 段气室规格 U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制;⑧ 段出口接头 0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03;⑨ 段出口端压力 A = 大气(正压)、V = 真空、X = 指定压力;⑩ 段压力表 0 = 无、G = 有;⑪ 段漏率单位 1 = atm·cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar·L/sec、6 = Pa·m³/sec、TL = torr·L/s、LH = L/hour;① 段 CL5 为定制款微通道工艺(标准型写作 RM5)。有源型号的气室自带充气压力,因此没有 ⑫ 段(入气端压力值)与 ⑬ 段(压力单位);单一气体型号(He / Air / N₂ 等)也不带 ⑮ 段,混气型号才有 P(分漏率)/ T(总漏率)。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P
蓝框为该示例订货号 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 选中的参数值(示例,非本页参数;本页实际配置见上方订货号解读表)。
序号参数名称选中值可选参数配置
1漏孔类型5 · 微通道
5微通道毛细管工艺
2气体类型1 · He
1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3漏率大小 aa = 3.6
#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4漏率量级 bb = −5
+2 ~ −13全部量级可选(本机 −5)
5校准点个数1 · 单点
1单个校准点K整数·数量不限
6阀门类型0 · 无阀门
0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7入口接头B · NPT⅛外丝
0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8出口接头N · 无
N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9出口端压力V · 真空
V真空A大气(正压)X特定压力
10其他选项0 · 无压力表
0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11漏率单位4 · mbar·L/s
1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s
12气源压力值35
##.##数值(仅无源漏孔)
13压力单位M · MPa-表压
1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14气体浓度10 · 10%
##浓度百分比 ##%(本机 10%)
15总 / 分漏率P · 分漏率
P分漏率T总漏率
* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型,如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天(CNAS 证书 +1 周)。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。
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