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有源He标准漏孔1.0x10-6mbar.L/sec

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所属分类:有源漏孔 产品简介
有源 He(100% 氦气)标准漏孔 · 标准型(① 段 RM5)· 漏率 1.0×10⁻⁶ mbar.L/sec,入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单校准点 · ⑥ 段 1 = 睿米® 自研手动截止阀,集成 KF16 与漏孔一体化设计 · ⑦ 段 4 = 160cc 气室,50bar 充气压力,可反复充气 · ⑧ 段 0 = KF16 出口 · 无压力表(⑩=0)· ⑪ 段 4 = mbar.L/sec · 11 段编码,有源型号无 ⑫⑬⑮ · 衰减 ~0.5%/年(阀门 365x24 小时常开),不使用时关闭阀门衰减更小 · RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封,支持 400Bar 高压反复冲击、防堵塞 · 使用温度 -20~65℃,有源温度敏感性 0.1%/℃ · 260mm(长)x 90mm(最宽)· 抗震抗摔,对运输和使用环境无特殊要求 · 默认附睿米® 出厂检测证书(可选 CNAS)。
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Detailed technical specifications详细技术规格
睿米® 微通道 有源He标准漏孔技术规格
订货号:睿米®RM511.0-61140V0/4
漏率:1.0x10-6mbar.L/sec,入真空
RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减
更新日期:2026-11-05
有源He标准漏孔 RM511.0-61140V0/4 订货号解读(① RM5 睿米® RMI-MTC™ 微通道工艺标准型 · ②1 100% He · ③1.0 ④−6 = 1.0×10⁻⁶ · ⑤1 单校准点 · ⑥1 手动截止阀 · ⑦4 160cc 气室 · ⑧0 KF16 出口 · ⑨V 入真空 · ⑩0 无压力表 · ⑪4 mbar.L/sec · 漏率 1.0x10-6mbar.L/sec 入真空 · 260mm×90mm)

睿米® 从上到下依次是充气阀门、160cc 气室、手动截止阀与 KF16 出口的这支有源He标准漏孔 RM511.0-61140V0/4,① 段 RM5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺的标准型,② 段 1 是 100% He,③ 段 1.0 配 ④ 段 −6 写成 1.0×10⁻⁶,⑤ 段 1 说明它只有一个校准点,⑥ 段 1 是睿米® 自研手动截止阀,⑦ 段 4 是 160cc 气室,⑧ 段 0 是 KF16 出口,⑨ 段 V 指出口接真空侧,⑩ 段 0 是本体上没有压力表,⑪ 段 4 把主单位定在 mbar.L/sec,编号到 ⑪ 段收尾,有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。标称漏率 1.0x10-6mbar.L/sec,入真空,加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%,技术规格表第 3 项原文另写「入大气/真空」,说的是两种出口环境都能装。气室 160cc、充气压力 50bar,可反复充气设计;阀门与出口做成集成 KF16 与漏孔一体化,通断就在本体上完成,不用另外串一只截止阀;⑩ 段 0 意味着余压没有表针可看,靠充气台账与定期外接标准表复核。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,支持 400Bar 高压反复冲击、防堵塞性优异,−20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求,整支 260mm 长、90mm 最宽。衰减设计写 ~0.5%/年,括号里注明阀门 365x24 小时常开,不使用时关闭阀门衰减更小。自上而下看这支实物,能拆的封口只有顶端那只充气阀门,KF16 是唯一装夹面,微通道毛细管内嵌在气室里而不是外挂一段管子,少一处可拆接头就少一处潜在漏点与呆体积,这也是技术表把「一体化设计」和「抗震抗摔」放在同一页的原因。1.0×10⁻⁶ 只是流导,不是外形,同档位还有不带阀、200cc 气室的短款,两支读数口径相同、通断方式不同,选哪支看工位是固定点位还是多台仪器轮流比对。50bar 是充气压力,属于补气时维护的参数,不进订货号;技术表写「入大气/真空」而 ⑨ 段只写 V 也不矛盾,前者讲安装朝向,后者讲证书上那一行是在真空侧标定的,换到大气侧使用要按实际压差重新确认读数。作为一支氦气标准漏孔,它出厂附睿米® 检测证书,需要第三方 CNAS 报告可另做。把充气口留给补气、把开关留给截止阀、把读数留给证书那一行,这支漏孔装好之后只需要按台账照料。

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有源He标准漏孔 RM511.0-61140V0/4 实物结构标注(顶端充气阀门标注非充气时严禁拧动 · 160cc 气室 · 产品标签列实测漏率、±8.0%、入真空、温度 23.0℃、充气压力 50bar · 内嵌集成微通道毛细管 · 睿米® 自研手动截止阀 · 出口连接 KF16 · 阀门手柄打开时拧 1~2 圈、严禁拧到底,顺时针关闭逆时针打开)

常见问题(FAQ)

顶端那只阀标着「非充气时严禁拧动」,拧了会怎样?
它不是开关,是气室出厂后的封口。160cc 气室里封的是 100% He,整支漏孔只有这一处可以打开通向外界;阀芯一旦被拧松,先是密封面状态变了,接着空气可能顺着缝隙混进气室,氦被稀释之后漏率按气体分子量与流态改变,读数就不再对应证书那一行。更麻烦的是这种变化往往不表现为突然归零,而是读数缓慢偏低、衰减比 ~0.5%/年 快,现场很容易误判成漏孔老化。所以补气才动它,而且要配高纯氦气源、减压计量到 50bar、用洁净接头,补完在室温下复测并登记日期、压力与实测值;其余时间连试探性拧一下都不要做。出口侧那只手动截止阀才是日常开关:打开时拧 1~2 圈即可,严禁拧到底,顺时针关闭、逆时针打开。
漏率都是 1.0×10⁻⁶,带阀和不带阀的两支该订哪支?
两支的 ③④ 段和 ⑪ 段一样,差的不是精度而是通断方式与占地。不带阀的 200cc 款 ⑥ 段填 0,气室直通出口,通断交给 KF16 卡箍或盲板,机身 150mm×52mm,衰减约 0.9%/年(按每天使用 5 分钟估),适合固定在一个点、装好长期不动、腔体里位置偏紧的工位。这支 ⑥ 段填 1,自带手动截止阀并与 KF16、漏孔做成一体,160cc 气室、260mm×90mm,衰减约 0.5%/年(阀门 365×24 小时常开),随用随开、非工作时段关阀,多台仪器轮流比对或每天只在固定时段通气更合适。两者 ⑩ 段都是 0、本体都没有压力表,余压都靠台账管理,出厂证书也都是单点标定。现场要留手柄旋转空间和 260mm 长度,位置紧就选短款;需要频繁通断就别用盲板反复拆装。
充气压力 50bar 不进订货号,13 段的型号为什么写了进去?
因为两者写进去的东西性质不同。这支是带气室的有源型号,标称漏率已经在 50bar、入真空、23℃ 附近逐支实测写进证书,编号到 ⑪ 段就收尾;气室压力属于使用与维护参数,掉到一定程度补气即可恢复,不是订货时可选的一档,写进编号反而会让人以为换个压力就是另一支产品。⑬ 段那种压力单位出现在另外两类配置里:一类是无源漏孔,本身没有气室、漏率靠外部气源压力定,压力就是标称条件的一部分,必须用 ⑫⑬ 写清楚;另一类是自带充气口与压力表的便携充气款,把充气压力写进编号便于现场按号核对。判断方法很简单:看 ⑦ 段是气室规格还是入口接头,看编号有没有 ⑫⑬,别只看型号里带不带压力数字。真要改标称压力点,无论哪一类都得重新标定、重新出证书。
以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理,漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

10 项关键参数 · 一次说清楚

订货号:RM511.0-61140V0/4

以上技术规格根据客户配置参数编写,气体、漏率、气室容积与出口接头均支持按需定制,欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付:最大产能 100-300pcs/天,定制周期:3-5 天(如需 CNAS 证书 +7 天);根据指定漏率 & 气室配置定制,公差方向可选。
序号项目参数
1品牌/订货号睿米® RM511.0-61140V0/4
2气体100%He
3漏率1.0x10-6mbar.L/sec 入大气/真空
加工公差:±10%不确定度:±8.0%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 4 = mbar.L/sec
4气室/充气压力160cc,50bar
可反复充气设计⑦ 段 4 = 160cc 气室
5阀门睿米®自研手动截止阀
集成KF16&漏孔一体化设计⑥ 段 1 = 手动
6制作工艺RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击, 防堵塞性优异, 使用温度:-20~65℃, 漏率稳定, 温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃).
7出口连接KF16
⑧ 段 0 = KF16
8衰减设计~0.5%/年(阀门365x24小时常开)
不使用时关闭阀门,衰减更小
9规格尺寸260mm(长)x 90mm(最宽)
10证书默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要)
本表 10 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文(序号 1~10),未作增删。

订货号:RM511.0-61140V0/4漏率 = a × 10b = 1.0 × 10⁻⁶ mbar·L/sec(入真空 = ⑨ 段 V)· 有源带气室型号(⑥ 1 = 手动截止阀 · ⑦ 4 = 160cc 气室 · ⑧ 0 = KF16 出口)· ⑪ 段 4 = mbar·L/sec · 单一气体,无 ⑫⑬⑮ 段,共 11 段

 
RM5
2
气体
类型
1
3
漏率
大小a
1.0
4
漏率
量级b
−6
5
校准点
个数n
1
6
阀门
类型
1
7
气室
规格
4
8
出口
接头
0
9
出口端
压力
V
10
压力
表
0
11
漏率
单位
4
序号参数名称编码值参数详情
1漏孔类型RM5睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺(标准型;定制款为 CL5)
2气体类型1100% He(高纯氦气)
3漏率大小 a1.0a = 1.0(指定值,加工公差 ±10%)
4漏率量级 b−6b = −6,即 10⁻⁶ 量级
5校准点个数 n11 个校准点
6阀门类型1睿米® 自研手动截止阀,集成 KF16 与漏孔一体化设计(同段位其他档:0 = 无、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀)
7气室规格4160cc 气室,50bar 充气压力,可反复充气设计(同段位其他档:U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制)
8出口接头0KF16(同段位其他档:1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03)
9出口端压力V真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气(正压)、X = 指定压力)
10压力表0无压力表(同段位其他档:G = 有)
11漏率单位4mbar.L/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、6 = Pa.m³/sec、TL = torr.L/s、LH = L/hour)
配置参数:有源 He(100%)标准漏孔 · 标准型(① RM5)· 漏率 1.0×10⁻⁶ mbar·L/sec 入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单个校准点 · 160cc 气室 / 50bar 可反复充气(⑦ 段 4)· 睿米® 自研手动截止阀集成 KF16 与漏孔一体化(⑥ 段 1)· KF16 出口 · 无压力表 · 漏率单位 mbar·L/sec · 衰减 ~0.5%/年(阀门 365x24 小时常开)· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封 · 260mm(长)x 90mm(最宽)
说明:编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号,不参与参数解读;③ 段 a 可为具体数值(如本支 1.0),也可写档位 L(1.0-3.9)/ M(4.0-6.9)/ H(7.0-9.9);④ 段 b 取 -9~0 之间任意值(本支 -6);⑤ 段填校准点个数,本支 1;⑥ 段阀门 0 = 无、1 = 手动(本支为睿米® 自研手动截止阀,集成 KF16 与漏孔一体化)、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀;⑦ 段气室规格 U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制;⑧ 段出口接头 0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03;⑨ 段出口端压力 A = 大气(正压)、V = 真空、X = 指定压力;⑩ 段压力表 0 = 无、G = 有;⑪ 段漏率单位 1 = atm·cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar·L/sec、6 = Pa·m³/sec、TL = torr·L/s、LH = L/hour;① 段 RM5 为标准型微通道工艺(定制款写作 CL5)。有源型号的气室自带充气压力,充气压力属于使用与维护参数,因此没有 ⑫ 段(入气端压力值)与 ⑬ 段(压力单位);单一气体型号(He / Air / N₂ 等)也不带 ⑮ 段,混气型号才有 P(分漏率)/ T(总漏率)。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P
蓝框为该示例订货号 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 选中的参数值(示例,非本页参数;本页实际配置见上方订货号解读表)。
序号参数名称选中值可选参数配置
1漏孔类型5 · 微通道
5微通道毛细管工艺
2气体类型1 · He
1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3漏率大小 aa = 3.6
#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4漏率量级 bb = −5
+2 ~ −13全部量级可选(本机 −5)
5校准点个数1 · 单点
1单个校准点K整数·数量不限
6阀门类型0 · 无阀门
0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7入口接头B · NPT⅛外丝
0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8出口接头N · 无
N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9出口端压力V · 真空
V真空A大气(正压)X特定压力
10其他选项0 · 无压力表
0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11漏率单位4 · mbar·L/s
1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s
12气源压力值35
##.##数值(仅无源漏孔)
13压力单位M · MPa-表压
1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14气体浓度10 · 10%
##浓度百分比 ##%(本机 10%)
15总 / 分漏率P · 分漏率
P分漏率T总漏率
* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型,如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天(CNAS 证书 +1 周)。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。
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