
睿米® 气室只充到 ~2MPa,年衰减却压到 0.2% 的这支有源He标准漏孔 RM511.0-71140V0/4,① 段 RM5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺的标准型,② 段 1 是 100% He,③ 段 1.0 配 ④ 段 −7 写成 1.0×10⁻⁷,⑤ 段 1 说明它只有一个校准点,⑥ 段 1 是睿米® 自研手动截止阀,⑦ 段 4 是 160cc 气室,⑧ 段 0 是 KF16 出口,⑨ 段 V 指出口接真空侧,⑩ 段 0 是本体上没有压力表,⑪ 段 4 把主单位定在 mbar.L/sec,编号到 ⑪ 段收尾,有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。标称漏率 1.0x10-7mbar.L/sec,入真空,加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%,技术规格表第 3 项原文另写「入大气/真空」,说的是两种出口环境都能装。气室 160cc、充气压力 ~2MPa,可反复充气设计;阀门与出口做成集成 KF16 与漏孔一体化,通断就在本体上完成,不用另外串一只截止阀;⑩ 段 0 意味着余压没有表针可看,靠充气台账与定期外接标准表复核。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,支持 400Bar 高压反复冲击、防堵塞性优异,−20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求,整支 260mm(长) x 90mm(最宽)。漏率衰减写 ~0.2%/年,括号里注明阀门 365x24 小时常开。压力低一截而衰减更小,这一支正好把有源漏孔的衰减定律摆出来:相对衰减率正比于漏率、反比于气室储能 pV,漏率只有同族 −6 档的十分之一,即使充气压力从 50bar 降到 ~2MPa,年衰减仍从 0.5% 落到 0.2%,把压力一味做高并不是唯一的路子。1.0×10⁻⁷ 常落在氦检工位的判废限附近,容易让人想把它挂到夹具上当 OK/NG 假件,但标准漏孔是给检漏仪定标的标准源,假件是给产线判据的被测对象,两者角色不能倒过来,要模拟固定漏点按 ③ 段另订一支。技术表把「无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃」并列写出,是两种流态的对照:有源经微通道向真空侧放气,升温时流导略升,漏率小幅向上;无源气密件以粘滞流为主,升温气体黏度上升、阻力变大,漏率反而往下走,本篇只按有源那一项算,比对读数时先归到 23℃ 附近再判。这支漏孔在有源标准漏孔序列里属于 10⁻⁷ 档,出厂附睿米® 出厂检测证书,需要第三方 CNAS 报告可另做。把漏率定在 10⁻⁷、把气室留在 2MPa,剩下的交给证书上的实测值与按期的复校记录。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌/订货号 | 睿米® RM511.0-71140V0/4 |
| 2 | 气体 | 100%He |
| 3 | 漏率 | 1.0x10-7mbar.L/sec 入大气/真空 加工公差:±10%不确定度:±8.0%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 4 = mbar.L/sec |
| 4 | 气室/充气压力 | 160cc,~2MPa 可反复充气设计⑦ 段 4 = 160cc 气室 |
| 5 | 阀门 | 睿米®自研手动截止阀 集成KF16&漏孔一体化设计⑥ 段 1 = 手动 |
| 6 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击, 防堵塞性优异, 使用温度:-20~65℃, 漏率稳定, 温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃). |
| 7 | 出口连接 | KF16 ⑧ 段 0 = KF16 |
| 8 | 漏率衰减 | ~0.2%/年(阀门365x24小时常开) |
| 9 | 规格尺寸 | 260mm(长) x 90mm(最宽) |
| 10 | 证书 | 默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要) |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | RM5 | 睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺(标准型;定制款为 CL5) |
| 2 | 气体类型 | 1 | 100% He(高纯氦气) |
| 3 | 漏率大小 a | 1.0 | a = 1.0(指定值,加工公差 ±10%) |
| 4 | 漏率量级 b | −7 | b = −7,即 10⁻⁷ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 1 | 睿米® 自研手动截止阀,集成 KF16 与漏孔一体化设计(同段位其他档:0 = 无、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀) |
| 7 | 气室规格 | 4 | 160cc 气室,~2MPa 充气压力,可反复充气设计(同段位其他档:U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制) |
| 8 | 出口接头 | 0 | KF16(同段位其他档:1 = KF25、5 = VCR ¼ male、D = 吸枪适配口、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03) |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气(正压)、X = 特殊压力) |
| 10 | 压力表 | 0 | 无压力表(同段位其他档:G = 有) |
| 11 | 漏率单位 | 4 | mbar.L/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、6 = Pa.m³/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour) |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选(本机 −5) |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气(正压)X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值(仅无源漏孔) |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%(本机 10%) |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |