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有源He标准漏孔6.5x10-6mbar.L/s

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所属分类:有源漏孔 产品简介
有源 He(100% 氦气)标准漏孔 · 定制款(① 段 CL5)· 漏率 6.5×10⁻⁶ mbar.L/s,入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单校准点 · ⑥ 段 0 = 无阀门(整支只有顶端一只充气阀,通断交给系统侧)· ⑦ 段 4 = 160cc 气室,出厂充到 ~9MPa、可反复充气设计 · ⑧ 段 0 = KF16 出口 · 无压力表(⑩=0)· ⑪ 段 4 = mbar.L/sec · 11 段编码,有源型号无 ⑫⑬⑮ · 衰减设计 ~1.5%/年(阀门 365x24 小时常开)· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封,400Bar 高压反复冲击、防堵塞 · 使用温度 -20~65℃,有源温度敏感性 0.1%/℃ · 250mm(长)x 80mm(最宽)· 抗震抗摔,对运输和使用环境无特殊要求 · 默认附睿米® 出厂检测证书(可选 CNAS)。
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Detailed technical specifications详细技术规格
睿米® 微通道 有源He标准漏孔
CL516.5-61040V0/4 技术规格
漏率:6.5x10-6mbar.L/s,入真空
RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减
更新日期:2026-11-06
有源He标准漏孔 CL516.5-61040V0/4 订货号解读(① CL5 睿米® RMI-MTC™ 微通道定制款 · ②1 100% He · ③6.5 ④−6 = 6.5×10⁻⁶ · ⑤1 单校准点 · ⑥0 无阀门 · ⑦4 160cc 气室 ~9MPa · ⑧0 KF16 出口 · ⑨V 入真空 · ⑩0 无压力表 · ⑪4 mbar.L/sec · 漏率 6.5×10⁻⁶ mbar.L/s 入真空 · 250mm×80mm)

睿米® 顶端只有一只充气阀的这支有源He标准漏孔 CL516.5-61040V0/4,① 段 CL5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道工艺的定制款,② 段 1 是 100% He,③ 段 6.5 配 ④ 段 −6 写成 6.5×10⁻⁶,⑤ 段 1 说明它只有一个校准点,⑥ 段 0 是没有阀门,⑦ 段 4 是 160cc 气室,⑧ 段 0 是 KF16 出口,⑨ 段 V 指出口接真空侧,⑩ 段 0 是本体上不带压力表,⑪ 段 4 把主单位定在 mbar·L/sec,编号到 ⑪ 段收尾,有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。标称漏率 6.5×10⁻⁶ mbar·L/s,入真空,技术表第 3 项还写着「入大气/真空」,指两端都能用,交付按 ⑨ 段 V 的口径标;加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%。这一支的结构主线是那只 160cc 气室:出厂充到约 9MPa,接近九十个大气压,注明可反复充气设计,压力表不给,余压靠台账记、按周期送回补气。9MPa 落在这支身上不夸张,微通道配金属密封是按 400Bar 高压反复冲击做的,气室压力离那个上限还有四倍余量;出口侧真正承受的是外部一个大气压,不是气室里那九十个。口径上还有一句:~9MPa 在这个压力上,表压与绝压差的那一个大气压只占百分之一,两种写法折出来的漏率不会有可见差别,写单据时注一句表压或绝压就够。⑥ 段 0 是这支跟同族带阀型号最大的不同:整支只有顶端一只充气阀,气室到出口之间没有截止阀,通断交给系统侧的盲板或 KF16 卡箍,气室与出口常通。技术表第 8 项「衰减设计 ~1.5%/年(阀门 365x24 小时常开)」里那只阀说的就是它,没有出口截止阀的版本按常开工况标衰减,读数才对得上现场一直通着的实际用法,也正因为气一直通着,非充气时那只充气阀严禁拧动。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,−20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求,整支 250mm 长、80mm 最宽,长度的大头给了气室与顶端充气阀。它本身是一支氦气标准漏孔,出厂附睿米® 检测证书,需要第三方 CNAS 报告可另做。有源漏孔的读数稳不稳,靠的是气室那一口气和出口那一道卡箍,装好之后按台账记余压、按周期复核,比反复怀疑漏孔本身有用。

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有源He标准漏孔 CL516.5-61040V0/4 实物结构标注(顶端充气阀门 非充气时严禁拧动 · 160cc 气室 · 产品标签 · 出口连接 KF16 · 内嵌集成微通道毛细管)

常见问题(FAQ)

技术表写阀门「无」,衰减条件却标「阀门 365×24 小时常开」,这两处说的是同一只阀吗?
不是同一只,两处指的不是一个东西。第 5 项「阀门:无」说的是出口到气室之间的那道人控截止阀,也就是订货号 ⑥ 段那个 0,这支确实没有;第 8 项括号里的「阀门」说的是顶端的充气阀,实物图上标着「非充气时,严禁拧动」的那一只,它只在补气时打开,平时是封着气室的。所以衰减那行读起来是:气室与出口常通、充气阀关着,一年下来读数掉约 1.5%。带截止阀的同族型号会改按「5min/day*1次」这类分时工况标,条件不同、数不能横向比。要判断一支漏孔的衰减,先看括号里的工况,再看漏率档位与气室容积是否对得上,三个都不一样的话,差多少都说明不了谁好谁坏。
气室加压到 9MPa,出口却接真空腔,中间只隔一段微通道,会不会把质谱室冲坏?
不会,9MPa 是气室里的静压,不是出口的喷射压力。气室到出口之间只有一段几十微米的微通道,它把流量锁在 6.5×10⁻⁶ mbar·L/s 这一档,折成每秒进真空腔的气量不到 10⁻⁵ mbar·L,抽速随便一台分子泵都能当场带走,腔体压力根本抬不起来。真正要注意的是三件事:接管顺序按先抽真空、再确认出口朝向、最后通气来走,别在常压下把出口对着质谱口直接放;KF16 卡箍要卡到底,密封圈有划伤就先换,不然那点漏量会被接口的漏盖住;顶端充气阀非补气不开,拧松了等于给气室多开一条路,读数会跟着偏高。
250mm 长、80mm 最宽,比 50cc 同档型号长出一大截,多出来的那截装了什么?
长度的大头给了气和阀,不是给了电路。这支是有源型号,160cc 气室本身就是一段柱体,容积越大柱体越长;顶端要留出充气阀的位置和扳手空间,另一端是 KF16 出口法兰,中间穿的是内嵌集成微通道毛细管,外侧还贴着标签。50cc 的短款把气室缩掉一多半,长度自然下来,代价是同样的漏率能撑的时间变短、补气更勤。装机时按 250mm 留位置与拆装空间,别把它塞进只能斜着进手的角落;出口侧那一段也不要再串一截细长软管,那等于在通道后面又加了一段阻力,现场读数会比证书低。
以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理,漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

10 项关键参数 · 一次说清楚

订货号:CL516.5-61040V0/4

以上技术规格根据客户配置参数编写,气体、漏率、气室容积与出口接头均支持按需定制,欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付:最大产能 100-300pcs/天,定制周期:3-5 天(如需 CNAS 证书 +7 天);根据指定漏率 & 气室配置定制,公差方向可选。
序号项目参数
1品牌/订货号睿米® CL516.5-61040V0/4
2气体100%He
3漏率6.5x10-6mbar.L/s 入大气/真空
加工公差:±10%不确定度:±8.0%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 4 = mbar.L/sec
4气室/充气压力160cc,~9Mpa
可反复充气设计⑦ 段 4 = 160cc 气室
5阀门无
⑥ 段 0 = 无阀门整支只有顶端一只充气阀,非充气时严禁拧动
6制作工艺RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary)· RMI-Metal™金属密封
抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃)
7出口连接KF16
⑧ 段 0 = KF16
8衰减设计~1.5%/年
(阀门365x24小时常开)
9规格尺寸250mm(长)x 80mm(最宽)
10证书默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要)
本表 10 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文(序号 1~10),未作增删。

订货号:CL516.5-61040V0/4漏率 = a × 10b = 6.5 × 10⁻⁶ mbar.L/s(入真空 = ⑨ 段 V)· 有源带气室型号(⑥ 0 = 无阀门 · ⑦ 4 = 160cc 气室 ~9MPa · ⑧ 0 = KF16 出口)· ⑪ 段 4 = mbar.L/sec · 单一气体,无 ⑫⑬⑮ 段,共 11 段

 
CL5
2
气体
类型
1
3
漏率
大小a
6.5
4
漏率
量级b
−6
5
校准点
个数n
1
6
阀门
类型
0
7
气室
规格
4
8
出口
接头
0
9
出口端
压力
V
10
压力
表
0
11
漏率
单位
4
序号参数名称编码值参数详情
1漏孔类型CL5睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺(定制款,CL 前缀;标准型为 RM5)
2气体类型1100% He(高纯氦气)· 1 = He(本支)、2 = Air、3 = Ar、4 = N2、C = H2、D = D2、X = 定制气体
3漏率大小 a6.5a = 6.5(指定值,加工公差 ±10%)
4漏率量级 b−6b = −6,即 10⁻⁶ 量级
5校准点个数 n11 个校准点
6阀门类型0无阀门(同段位其他档:1 = 手动、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀)
7气室规格4160cc 气室,出厂充到 ~9MPa,可反复充气设计(同段位其他档:U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制)
8出口接头0KF16(同段位其他档:1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03 等)
9出口端压力V真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气(正压)、X = 指定压力)
10压力表0无压力表(同段位其他档:G = 有)
11漏率单位4mbar.L/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、6 = Pa.m³/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour)
配置参数:有源 He(100%)标准漏孔 · 定制款(① CL5)· 漏率 6.5×10⁻⁶ mbar.L/s 入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单个校准点 · 160cc 气室,~9MPa,可反复充气设计(⑦ 段 4)· 无阀门(⑥ 段 0)· KF16 出口 · 无压力表 · 漏率单位 mbar.L/sec · 衰减设计 ~1.5%/年(阀门365x24小时常开)· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封 · 250mm(长)x 80mm(最宽)
说明:编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号,不参与参数解读;③ 段 a 可为具体数值(如本支 6.5),也可写档位 L(1.0-3.9)/ M(4.0-6.9)/ H(7.0-9.9);④ 段 b 取 +2 到 -13 之间任意值(本支 -6);⑤ 段填校准点个数,本支 1(K = 整数、数量不限);⑥ 段阀门 0 = 无、1 = 手动、2 = 电磁阀(3 通电磁阀 24VDC)、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀;⑦ 段气室规格 U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制;⑧ 段出口接头 0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03;⑨ 段出口端压力 A = 大气(正压)、V = 真空、X = 指定压力;⑩ 段压力表 0 = 无、G = 有;⑪ 段漏率单位 1 = atm·cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar·L/sec、6 = Pa·m³/sec、8 = g/y、TL = torr·L/s、LH = L/hour;① 段 CL5 为定制款微通道工艺(标准型写作 RM5)。有源型号的气室自带充气压力,因此没有 ⑫ 段(入气端压力值)与 ⑬ 段(压力单位);单一气体型号(He / Air / N₂ 等)也不带 ⑮ 段,混气型号才有 P(分漏率)/ T(总漏率)。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P
蓝框为该示例订货号 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 选中的参数值(示例,非本页参数;本页实际配置见上方订货号解读表)。
序号参数名称选中值可选参数配置
1漏孔类型5 · 微通道
5微通道毛细管工艺
2气体类型1 · He
1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3漏率大小 aa = 3.6
#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4漏率量级 bb = −5
+2 ~ −13全部量级可选(本机 −5)
5校准点个数1 · 单点
1单个校准点K整数·数量不限
6阀门类型0 · 无阀门
0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7入口接头B · NPT⅛外丝
0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8出口接头N · 无
N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9出口端压力V · 真空
V真空A大气(正压)X特定压力
10其他选项0 · 无压力表
0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11漏率单位4 · mbar·L/s
1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s
12气源压力值35
##.##数值(仅无源漏孔)
13压力单位M · MPa-表压
1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14气体浓度10 · 10%
##浓度百分比 ##%(本机 10%)
15总 / 分漏率P · 分漏率
P分漏率T总漏率
* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型,如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天(CNAS 证书 +1 周)。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。
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