有源He标准漏孔5.0x10-7Pa.m³/s

睿米® 把 10⁻⁷ 装进 160cc 气室的这支有源He标准漏孔 CL515.0-71040V0/6，① 段 CL5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道工艺的定制款，② 段 1 是 100% He，③ 段 5.0 配 ④ 段 −7 写成 5.0×10⁻⁷，⑤ 段 1 说明它只有一个校准点，⑥ 段 0 是没有阀门，⑦ 段 4 是 160cc 气室，⑧ 段 0 是 KF16 出口，⑨ 段 V 指出口接真空侧，⑩ 段 0 是本体上不带压力表，⑪ 段 6 把主单位定在 Pa·m³/sec，编号到 ⑪ 段收尾，有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。标称漏率 5.0×10⁻⁷ Pa.m³/s，入真空，技术表第 3 项还在括号里补了 5.0×10⁻⁶ mbar.L/s，两行写的是同一个数：1 mbar·L/s 折 0.1 Pa·m³/s，真空行业习惯用前者记，法定计量单位是后者，⑪ 段填 6 就把主单位落在 Pa·m³/sec 上；技术表第 3 项另注「入大气/真空」，指两端都能用，交付按 ⑨ 段 V 的口径标。加工公差 ±10%，不确定度 ±8.0%。这一支的气室是 160cc，出厂充到约 8MPa，标签上印的充气压力 80bar 与它是一回事，表压与绝压差的那一个大气压，在八十个大气压面前只占百分之一；可反复充气设计，压力表不给，余压靠台账记、按周期送回补气。⑥ 段 0 是没有阀门，整支只有顶端一只充气阀，气室到出口之间没有截止阀，通断交给系统侧的盲板或 KF16 卡箍。技术表第 8 项「衰减设计 ~1.3%/年（阀门 365x24 小时常开）」里那只阀说的就是顶端这只充气阀，气一直通着、充气阀关着，读数才对得上现场的实际用法；也正因为气一直通着，非充气时那只阀严禁拧动。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封，400Bar 是通道的耐冲击上限，气室里那 80bar 只是它的五分之一，−20~65℃ 可用，有源型号温度敏感性 0.1%/℃，抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求，整支 250mm 长、80mm 最宽。标签上实测写 4.98×10⁻⁷，与标称 5.0 的差只有 0.4%，落在 ±10% 加工公差之内。标签第一行印的是上海睿米仪器仪表有限公司，出厂检测证书也由这家出具。一支有源漏孔装进系统之后，现场能改动的只有气室压力和出口那圈卡箍，把这两处守住，证书上那行数就一直对得上。