

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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技术规格(典型) |
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订货号 |
RM5X1.0-51125V0/6 |
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2 |
漏率 |
1.06×10-5Pa·m³/sec(20℃); =23.7g/y(质量泄漏率) 不确定度:5% |
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3 |
介质 |
十二烷C12H26 |
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4 |
出口压力 |
真空(<1pa) |
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5 |
阀门 |
气动隔膜阀,4-7bar |
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6 |
出口连接 |
1/4VCR male |
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7 |
储液罐 |
300cc,充注液体:250cc |
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8 |
适用温度 |
20℃±5℃ |
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9 |
衰减 |
无 |
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10 |
规格尺寸 |
330mm(长)x90mm(最宽) |
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11 |
证书 |
厂家检测证书或第三方检测证书 |
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注意事项: 1、温度需要控制在15℃~25℃,且保持温度稳定(±0.5℃),本产品标定温度为20℃,为保证漏率稳定,请尽量保证测试环境为20℃(温度变化1℃,漏率指数变化约11~12%) 2、使用时请将本漏孔放置于水平桌面上,以保证使用过程中漏孔不会倾倒 3、气动阀门需要连接0.4-0.7MPa压缩空气,建议:6-7bar 4、漏孔连接到质谱系统,管径建议至少>4mm, 长度小于2m;管径越大长度越小,对漏率影响越小 5、初次使用,①先静止放置4h,②打开阀门,③并预抽真空12h,可获得稳定漏率;每次拆除或移动,视为初次使用 。 |
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