

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
查看详情SQT-100超级快速吸枪(氦质谱检漏仪通用)
氦检和吸枪的革命性创新,成倍提高检漏效率:大吸速、反应超快、长距离
(SQT-100,是Inficon/Leybold检漏仪的QT-100快速吸枪模块的加强版。SQT-100不仅在Inficon/Leybold氦质谱检漏仪上使用,可在所有进口/国产品牌检漏仪通用,而且反应更快,支持更长距离,更大吸速;其领先的独特的流导设计,在超长距离如50m,100m,亦可快速反应,从而使氦检/吸枪检测能力得到前所未有的提升和飞越)。
SQT-100超级吸枪模块
SQT-100是上海睿米仪器仪表(RealMeter Instruments)开发的一款通用型氦质谱检漏仪快速吸枪(Super-Quick Sniffer Probe) 。SQT-100采用睿米独特的流导设计,完美解决了普通吸枪吸速小(~0.25-1.0 cc/sec)、灵敏度低(离漏点0.5-1cm就会严重衰减错过漏点)、不支持长距离(一般不大于10m)、以及反应慢的缺点。
SQT-100是对传统吸枪和氦检的革命性的创新:
检测快速、灵敏度高,极大提升检测效率:SQT-100支持2-50-100cc/sec大吸速,无需接触漏点,距离漏点3-5cm即可反应,快速检测而不错过漏点。
业界领先的响应时间,即使超长距离亦可满足检测需求: <2.0秒(10m) <4.0s秒(20m) <6.0秒(30m) <10.0秒(50m) 。
通用:通用于任何进口/国产氦质谱检漏仪品牌,按照吸枪/真空模式设置操作即可。
保护核心检漏仪:优化的流导设计确保检漏仪不受冲击,并阻止超微颗粒(0.1μ)。
SQT-100反应时间领先业界,变革了传统氦检/吸枪的检测方式,使得超长距离氦检成为现实。

SQT-100应用场景
长距离的管路、管线、大型真空系统泄漏检测,如石油、化工、天然气、船舶、飞机…效率成倍乃至数十倍提高,更快速、更准确!
SQT-100嗅探头放置于真空泵排气口直接检测,解决氦质谱检漏仪在高真空(如<0.05mbar ,需停高真空泵)和低真空(>25mbar如电厂等,需增加流量控制阀) 不能直接检测的局限,SQT-100吸气量比检漏仪更大,检测更高效、更精确,同时可不影响生产运行!
大面积区域快速高效检测:通过定制吸盘、吸块等,覆盖在待测区域表面(如100cmx10cm焊缝带)形成相对密闭内部对流空间,利用SQT-100的大流速(最大100cc/s),可快速判断该区域是否泄漏,极大提高检测效率和准确性!
改造现有的氦气检漏仪成为高效的吸枪检漏仪… 搭建累积法氦检系统… 节省客户投资和运行成本
SQT-100技术规格
项目
描述
最小可检测精度
1x10-7mbar.L/sec
1x10-8Pa.m3/sec
响应时间
10米:2.0s秒
15米:2.6s秒
20米:3.7秒
30米:6.0秒
50米:10.0秒
100米:14.0秒(定制)
吸枪速度
2-50-100cc/sec(120-3000cc-6000cc/min)
吸枪因子
30-300倍
接口
KF25x1:连接检漏仪
吸枪线接口x1: 连超级吸枪线
支持氦质谱检漏仪型号
任何品牌,包括但不限于:Inficon,Leybold,Pfeiffer Adixen, Agilent Varian, ULVAC, SHIMADZU, 中科科仪,皖仪,迪泰,歌博…
工作电压/功耗
115/230 VAC, 50/60 Hz, 30W
工作温度
SQT-100超级吸枪模块: -10-50℃
SQL超级吸枪线:-100-150℃
尺寸/重量
275mm(长)x160mm(宽)x110mm(高)
2.5kg
*SQT-100配置非常简单,Inficon /Leybold /大部分国产检漏仪等KF25接口连接检漏仪吸入口,按照普通吸枪模式配置即可。
*检漏仪检漏口不支持吸枪配置模式的,如Pfeiffer Adixen检漏仪,按照真空模式配置,配置真空因子系数。
*超级吸枪校准,推荐TLS-5(L)标准漏孔,微通道技术,抗震抗摔设计,1~3x10-5mbar.L/sec,NIST可溯源证书,150cc气瓶,内部充氦>1500PSIG,终身不用补气。
二、订货号
名称
描述
订货号
超级吸枪模块SQT-100
超级吸枪模块(Super-Quick Probe),连接检漏仪和超级吸枪线SQL使用。支持所有的检漏仪,任何品牌,包括但不限于:Inficon,Leybold,Pfeiffer Adixen, Agilent Varian, ULVAC, SHIMADZU, 中科科仪,皖仪,迪泰,歌博…
RSQT100
超级吸枪线:5米
5米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<1.5s
RSQL005
超级吸枪线:10米
10米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<2.0s
RSQL010
超级吸枪线:15米
15米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<2.6s
RSQL015
超级吸枪线:20米
20米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<3.7s
RSQL020
超级吸枪线:30米
30米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<6.0s
RSQL030
超级吸枪线:30米
50米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<10.0s
RSQL040
超级吸枪线:100米
100米超级吸枪线,配合SQT-100超级吸枪模块使用,反应时间:<14s
(需定制)
RSQL050
常用配件
超级吸枪滤芯
每根超级吸枪线默认配置5个滤芯
RSQTF05
10-6mbar.L/s吸枪校准漏孔
校准漏率:10-6mbar.L/s, NIST可溯源证书(可另外提供CNAS证书),吸枪校准口,150cc气瓶(充压~600PSIG),终身不用补气。微通道技术,抗震、抗摔、防堵塞性好,可忽略温度补偿(0.1%℃)
TLS-6S
10-5mbar.L/s吸枪校准漏孔
校准漏率:10-5mbar.L/s, NIST可溯源证书(可另外提供CNAS证书),吸枪校准口,150cc气瓶(充压~1500PSIG),终身不用补气。微通道技术,抗震、抗摔、防堵塞性好,可忽略温度补偿(0.1%℃)
TLS-5S
10-4mbar.L/s吸枪校准漏孔
校准漏率:10-4mbar.L/s, NIST可溯源证书(可另外提供CNAS证书),吸枪校准口,150cc气瓶(充压~1500PSIG)。微通道技术,抗震、抗摔、防堵塞性好,可忽略温度补偿(0.1%℃)
配置零流量阀门,每天使用1小时关闭阀门,终身不用补气。
TLS-4S-ZV