

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
查看详情例如:PSOZV标准漏孔的气室内充入氦气压力为100bar,呆体积内的最大气体体积为0.1µl × 100bar = 10µl。此实验中,RGA系统的真空度为4×10-6hpa, PSOZV零体积阀标准漏孔打开后,RGA系统的真空度升高为3×10-5hpa,对系统没有大的冲击。(反观传统标准漏孔在打开的瞬间,RGA系统的真空度瞬间升高几个数量级,甚至分子泵等高真空泵,因为大量气体进入系统,而造成重启。高真空环境完全被破坏。