在无源标准漏孔的采购、验收与使用环节，"精度、公差、承诺公差、误差、不确定度"五个概念长期被混用。部分供应商在宣传资料中笼统标注"精度 ±1%"而不作任何界定，部分交付标签以目标值代替实测值，部分文件将计量机构出具的校准不确定度宣称为产品的制造精度。上述表述混乱已影响到漏孔的正确选型、验收与产线点检的可靠性。
本白皮书的目的在于：
依据现行计量技术规范，界定上述五个概念的严格含义及其相互关系；
从流体力学与误差理论出发，定量论证制造允差的物理约束与校准不确定度的分量结构；
给出行业主流工艺的承诺公差水平与规范表述示例，辨析典型不规范表述；
为采购方提供验收核验清单与使用注意事项。
本白皮书适用于标准漏孔的制造商、校准机构、产线质量工程师及采购验收人员。
本白皮书规定了无源标准漏孔在制造允差（公差）、承诺公差、校准不确定度及误差等概念上的术语定义、量化关系、行业表述规范与验收指引。
本白皮书适用于产线上对工件检漏仪进行点检的、即插即用型无源标准漏孔（气密性标准漏孔与真空氦标准漏孔）的采购、验收与使用。
本白皮书不适用于渗透型有源漏孔及其他需长期渗透平衡的有源应用场景。
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本白皮书必不可少的条款：
JJF 1833—2020《真空氦漏孔校准规范》
JJF 1627—2017《皂膜流量计法标准漏孔校准规范》
JJF 1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》
JJG（军工）165—2024《真空标准漏孔检定规程》
JJF 1001《通用计量术语及定义》
在标准漏孔领域通常指制造偏差（公差）的笼统称，制造精度、加工精度、交付精度均为同一概念的不同叫法。
条文说明：精度为笼统称，因未限定所指对象而易于被滥用。规范文件中应优先使用"公差（偏差）"或"不确定度"等明确定义的术语。
漏孔制成后，其实际漏率与目标漏率之间的相对差异，由事后实测得出，逐支不同。
条文说明：严格按 JJF 1001，事后测出的相对差异（如 +3%、−7%）规范名称为"偏差"，"公差"指允许限（一个区间）。本白皮书沿用行业通行习惯，将逐支实测偏差称为"实际公差"，与"承诺公差"对举；读者应注意规范术语中二者的区分。
制造商在接单时承诺的制造能力：保证交付漏孔的实测漏率落在目标值 ±X% 范围之内。该承诺为事前承诺，对所有交付产品口径统一。
测量值与真实值之间的差异。由于真实值不可获知，误差只能估计，不能精确确定。
表征测量结果可信程度的量化指标；按 JJF 1059.1—2012，扩展不确定度 U 给出真实值以约定包含概率（通常约 95%，k=2）落入的区间宽度。不确定度由漏孔本身特性与计量机构测量能力共同决定。
在标准漏孔领域，"精度"通常即"公差"之义，指制造层面的偏差。制造精度、加工精度、交付精度是同一概念在不同场合的叫法，并非三个并列指标。
"精度"一词比"公差"更笼统、更易被滥用。宣传资料中笼统标注"精度 ±X%"而不界定其指制造精度还是测量精度时，客户无法追问，概念混淆由此产生。因此，规范表述应直接写明"承诺公差"并绑定工况。
以定制漏孔为例：介质为干燥空气，压力 20 kPa（表压），目标漏率 0.1 mL/min。制成后实测漏率为 0.103 mL/min，则该支漏孔的实际公差为：
实际公差为事后算出的数值，逐支不同（如 +3%、−7%、+15%），取决于每次制作的实际效果。由于逐支公差互不相同，制造商不可能在宣传文件中承诺"每支漏孔的公差均为 ±3%"，其承诺的只能是承诺公差。
承诺公差的含义为：目标值 0.1 mL/min、承诺公差 ±10% 时，可交付区间为
实测漏率落于区间之外的制品应返工或报废，不予交付。
实际公差与承诺公差的对比见表 1。
| 对比项 | 实际公差（实际精度） | 承诺公差（承诺精度） |
|---|---|---|
| 时间点 | 事后（制成后实测得出） | 事前（接单时承诺） |
| 对象 | 具体某一支漏孔 | 对所有交付产品的统一承诺 |
| 数值 | 逐支不同（+3%、−7%、+15% 等） | 统一（±10%、±5% 等） |
| 性质 | 实际结果 | 能力承诺 |
宣传文件中所写"精度 ±X%"只能是承诺公差，不可能是实际公差（因逐支不同）。
测量的第一性原理为：一切测量均存在不确定性，不存在精确的测量。流量计本身存在精度限制，测量过程中温度可能波动，压力控制器读数可能存在偏差，读数与数据拟合亦引入近似。因此实测值 0.103 mL/min 并非该漏孔的真实漏率，而是带有误差的估计值。
误差为测量值与真实值之间的差异；由于真实值永远不可获知，误差只能估计，不能精确确定。误差来源及其典型影响见表 2。
| 误差来源 | 具体含义 | 典型影响 |
|---|---|---|
| 漏孔本身的重复性 | 同一支漏孔不同时间测量读数的差异 | ±1% ~ ±3% |
| 测试仪器的不确定度 | 流量计、压力控制器、恒温槽本身的精度 | ±0.5% ~ ±2% |
| 环境条件的影响 | 温度、湿度、气压波动带来的偏差 | 温度波动 1℃，漏率可能偏移 0.6% |
| 操作过程的误差 | 读数、计时、数据处理的人为因素 | ±0.2% ~ ±1% |
| 数据拟合的近似 | 计算公式、拟合模型的简化假设 | ±0.1% ~ ±0.5% |
上述来源合成后，测量结果的分散性（扩展不确定度）通常在 ±2% ~ ±5% 甚至更大的范围。
公差与误差的区别在于：公差属制造层面，一测即知，制成后即不可改变；误差属测量层面，真实值不可知，误差只能减小、不能消除。
不确定度衡量"对测得漏率值有多确信"。其分量可归属为两大类：产品本身特性与计量器具能力。
以实测漏率 0.103 mL/min 的漏孔为例，按 JJF 1059.1—2012 进行不确定度评定，分量结构见表 3。
| 分量 | 来源 | 标准不确定度 u | 归属 |
|---|---|---|---|
| 漏孔本身的短期重复性 | 同一支漏孔多次测量的波动 | 1.0% | 漏孔本身特性 |
| 上级标准器（流量标准装置） | 计量机构的设备精度 | 2.0% | 计量机构能力 |
| 温度修正（温度系数 × 温度波动） | 漏孔温漂 + 环境控制 | 1.0% | 漏孔特性 + 环境控制 |
| 压力测量误差 | 压力传感器精度 | 0.8% | 计量机构能力 |
| 数据拟合与读数误差 | 操作和数据处理 | 0.5% | 计量机构能力 |
合成标准不确定度与扩展不确定度为：
即真实漏率以约 95% 的包含概率落在：
应注意：公差（+3%）由制造决定，出厂即定；不确定度属测量层面，需经分析计算得出，且随计量机构能力而变化。同一支漏孔送不同计量机构校准，所得不确定度可能不同（典型示例如 U=2%（国家级）、U=5%（省级）、U=10%（市级），均 k=2）。漏孔本身未变，变化的是测量系统的能力。漏率量级越小，测量链越难，不确定度越大；JJF 1833—2020 附录 C 在更小漏率量级下给出的扩展不确定度达 Ur 12%~26%。
五概念在漏孔交付链条中的关系见图 1。
其流程为：客户按目标值订货 → 制造商给出承诺公差（如 ±10%）→ 制造 → 出厂检测得实测值（如 0.103 mL/min）→ 得实际公差（+3%）→ 计量机构校准并给出不确定度（U = 5.2%，k=2）→ 真实值以约 95% 包含概率落于相应区间；误差因真实值不可知而永远无法精确确定。
气密漏孔通常工作于粘滞流区，气体须考虑可压缩性，漏率（摩尔流率形式）服从可压缩泊肃叶公式：
式中：d 为通道直径；P1、P2 为进出口绝对压力；μ 为气体动力粘度；L 为通道长度。漏率对孔径为四次方关系：
以目标漏率 0.1 mL/min @ 20 kPa（表压，入大气）为例，按上式反推，毫米级通道长度对应的设计孔径约 15 μm 量级。若孔径偏差 2%（实际 15.3 μm），漏率偏差为：
即孔径偏差 2% 导致漏率偏差约 8%。若要实现 ±1% 的漏率允差，孔径控制需达到 ±0.25%，即 15 μm 通道的偏差不超过 38 nm，已属纳米级加工范畴。
结论：单支制品不排除偶然命中或经反复修调筛选后收敛到 1% 量级，但±1% 作为批次能力承诺、或作为不同漏率与压力条件下普遍成立的承诺公差，物理上不可实现。承诺公差承诺的是"任意一支、在约定工况点均落入允差带"，而非"某一支曾偶然落入"。因此，不附任何条件笼统宣称"精度 ±1%"属于不诚实表述，亦不具实现可能。
由可压缩泊肃叶公式:
常温附近空气动力粘度随温度升高而增大，其相对变化率约 +0.27%/℃；绝对温度的倒数项贡献约 +0.34%/K（以室温 295 K 计）。两项叠加，漏率对温度的敏感性约为 0.6%/℃。此量级与行业实测温度修正系数（如 −0.6%/℃）一致，亦与"温度波动 1℃，漏率可能偏移 0.6%"的经验数据吻合。故漏率指标必须绑定温度工况，并应给出温度修正系数。
由 4.4 节分量结构，漏孔本身的短期重复性分量通常即达 ±1% ~ ±3% 量级，单独一项已顶到或超过 ±1%；再经方和根合成后，扩展不确定度通常在 ±2% ~ ±5% 甚至更大范围。在常规商业校准条件下将扩展不确定度压缩至 ±1% 以内极为困难，仅最顶级计量实验室对少数稳定性极好的漏孔可达到该量级，与批量宣称的"±1%"属完全不同的概念。
不确定度按 JJF 1059.1—2012 由多个分量依方和根合成：
完整算例见表 3：分量标准不确定度分别为 1.0%、2.0%、1.0%、0.8%、0.5%，合成标准不确定度 $u_c = 2.6\%$，扩展不确定度 $U = 5.2\%$（k=2，约 95% 包含概率）。该算例同时表明：不确定度由漏孔本身特性与计量机构能力共同构成，不能单方面归结为产品属性。
在无源工件点检场景下，不同工艺路线的承诺公差水平差异显著，见表 4。
| 工艺路线 | 常规承诺精度 | 高端定制能力 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 玻璃拉丝 | ±20% ~ ±30% | ±15% | 手工拉丝，一致性差 |
| 金属压扁 | ±15% ~ ±25% | ±10% | 压扁厚度控制，反复试错 |
| 微通道工艺 | ±10%（标准） | ±5% 或 ±2% | 流导仿真+精密加工，一次命中 |
| 渗透膜 | 不适用 | 不适用 | 渗透平衡稳定时间长（小时级），温度系数大（每℃数个百分点），不适合即插即用的无源工件点检漏孔 |
ATEQ（法国，气密检测行业头部品牌）的通常口径为："一般气密漏孔的加工精度是 ±20%，客户要求高的可以做到 ±10% 或 ±5%。"（出处：ATEQ F420P/F510/F520 用户手册，原文："the values indicated above are given for information and can vary by +/- 20%. The true rate is precisely measured before delivery with an accuracy of +/- 5% … Special master leaks can be manufactured on request, within 5% of the requested value."）该口径明确指向制造能力，给出行业常规水平与高端定制水平，未作夸大。
睿米采用微通道工艺，承诺公差一般为 ±10%，客户要求高的可以做到 ±5% 或 ±2%。（出处：睿米《Air&N2 气密性标准漏孔技术白皮书》V1.0，2026 年 3 月。）微通道工艺将常规承诺由 ±20% 提升至 ±10%，系工艺代差所致；即便如此，其高端定制承诺亦止于 ±2%。公开可查的批量加工公差承诺最高水平即 ±2%，此事实本身即构成对"精度 ±1%"宣传的行业对照。
规范交付标签的正面示例如下（上海睿米的气密性与真空氦标准漏孔实物标签，图 2、图 3）。
第一组：气密性（Air）标准漏孔三支（图 2）
| 订货号 | 目标漏率（订货号解码） | 标签实测值 | 实际公差 | 承诺公差 | 标签不确定度 |
|---|---|---|---|---|---|
| RM521.0-010GNA0/3/30-G | 1.0 sccm @ 30 bar 表压，入大气 | 0.99 sccm | −1.0% | ±10% | ±3.4% |
| RM526.0-010GNA0/3/0.18-G | 6.0 sccm @ 0.18 bar 表压，入大气 | 5.72 sccm | −4.7% | ±10% | ±3.4% |
| RM524.7-010GNA0/3/0.14-G | 4.7 sccm @ 0.14 bar 表压，入大气 | 4.45 sccm | −5.3% | ±10% | ±3.4% |
第二组：真空（He）标准漏孔两支（同一订货号 RM511.2-610GNV/6/5.8-G，目标 1.2×10⁻⁶ Pa·m³/s @ 5.8 bar 表压，入真空，图 3）
| 序列号 | 标签实测值 | 实际公差 | 承诺公差 | 标签不确定度 |
|---|---|---|---|---|
| 27054 | 1.24×10⁻⁶ Pa·m³/s | +3.3% | ±10% | ±5.5% |
| 27051 | 1.30×10⁻⁶ Pa·m³/s | +8.3% | ±10% | ±5.5% |
上述标签为规范表述的样板，其特征如下：
三个概念各就各位、互不冒充：目标值承载于订货号，实测值以大字印于标签，±3.4%/±5.5% 标注为不确定度而非"精度"，未将不确定度宣传为加工精度。
工况绑定完整：介质、校准温度（22.1~22.2℃ / 23.0℃）、压力点、出口状态（入大气/入真空）、温度修正系数（−0.6%/℃）、校准日期、CNAS 编号均完整标注，无笼统的"精度 ±X%"表述。
同型号逐支不同：两支真空漏孔同一订货号，实测 1.24 与 1.30×10⁻⁶ Pa·m³/s 相差近 5%，为"实际公差逐支不同、宣传文件只能写承诺公差"提供了实物证据。验收要点仅为：实测值（0.99 / 5.72 / 4.45 / 1.24 / 1.30）均落于 ±10% 承诺带内，合格；使用时按实测值设定仪器。
不确定度随漏率量级放大：气密漏孔（sccm 级）±3.4%，真空氦漏孔（10⁻⁶ Pa·m³/s 级）±5.5%，与 JJF 1833—2020 附录 C 的趋势一致，进一步表明不确定度系测量属性而非产品属性。
工况依赖性：第一组中两支低压工作点（0.18/0.14 bar）的实际公差（−4.7%、−5.3%）明显大于高压点（30 bar）的 −1.0%，表明同一工艺在不同工况点的命中率不同，公差必须绑定工况表述。
部分供应商在宣传资料中笼统标注"精度 ±1%"，不界定概念、不绑定工况。其可能的解释路径及其论证如下：
解释路径一：指承诺公差（制造精度）。由 5.1 节，±1% 的漏率允差要求孔径控制达 ±0.25%（15 μm 通道偏差不超过 38 nm），作为批次能力在物理上不可实现；故不附条件的 ±1% 制造承诺不诚实，亦不太可能。
解释路径二：指测量精度（误差）。误差属测量层面概念而非产品属性，其大小取决于测量设备、环境与操作，非制造商所能控制或承诺；且真实值不可知，误差无法精确确定，宣称"误差 ±1%"在逻辑上等同于声称已知永不可知的真实值，不成立。即便制造商改口称其指其实验室的测量能力，宣传文件面向的仍是产品能力，且由 5.3 节，常规商业校准条件下扩展不确定度难以压缩至 ±1% 以内，该解释同样站不住。
解释路径三：指校准不确定度。不确定度由计量机构出具，反映的是校准能力而非产品制造能力；同一支漏孔在不同计量机构所得不确定度不同。以不确定度冒充产品精度属概念挪用。
结论：无论按何种路径解释，笼统的"精度 ±1%"均不成立——不诚实，亦不太可能。
典型表述如"经权威机构校准，精度 ±1%"。其问题在于：不确定度系计量机构的测量属性而非制造商的产品属性；同一支漏孔送不同计量机构校准，不确定度可能分别为 2%、5%、10%。漏孔未变，变化的是测量系统。故校准不确定度不得作为产品制造精度进行宣传。
反面实物案例（某制造商交付的四支真空氦标准漏孔，已匿名脱敏处理，见图 4）：
四支漏孔标签上的漏率全部印为同一数值 1.0×10⁻⁶ Pa·m³/s。分析如下：
印的是目标值而非实测值。真实制造过程必有散布（对照 6.3 节，同一订货号两支漏孔实测值相差近 5%）。四支标签数值一字不差，最合理的解释是标签印制的是订货目标漏率而非逐支实测值——除非制造商能出示各支实测记录（本案例交付包中未见；若实测值另附校准证书，验收时务必逐支核对）。理论上虽存在"±10% 公差、报 2 位有效数字时四支恰好修约同值（1.0 覆盖 0.95~1.05）"的可能，但标签未提供任何逐支实测信息，客户无从核对，"实际公差"概念在该交付的标签层面不存在。
关键信息全部缺失。对照规范标签要素：实测值（无）、承诺公差或实际公差（无）、不确定度（无）、温度修正系数（无）。标签仅载介质（He 99.999%）、压力（P=0.31 MPa，ΔP=0.41 MPa）、编号（已脱敏）与日期，最核心的"该支漏孔实测漏率"反而缺失。
客户无法正确使用。正确使用漏孔的前提是按证书实测值设定仪器。标签仅载标称值，若该支实测为 1.2×10⁻⁶（+20%，完全可能），客户的检漏仪自始即带 20% 系统误差运行，且验收时"实测值是否在承诺公差内"无从核对。
日期形同虚设。标签标注日期却无对应校准结果，不能构成有效溯源。
该案例与 6.3 节正面案例的差别在于：正面标签以实测值为大字、工况与不确定度为小字、订货号承载目标值；反面标签仅有目标值，其余全无。后者将"目标值"偷换为"实测值"，比笼统标注"精度 ±1%"更隐蔽，因其连可供追问的数字都未提供。
计量报值通行惯例（源于 JJF 1059.1 关于"测量结果末位与不确定度末位对齐"的规定并延伸至公差场景）：报值末位应与公差（或不确定度）所在位对齐并再低一位。以目标 1.0×10⁻⁶ 为例，位数判据见表 7。
| 公差 | 公差所在位 | 标值至少需要的有效数字 | 示例 |
|---|---|---|---|
| ±10% | 第一位有效数字（0.1×10⁻⁶） | 2 位 | 0.95、1.04×10⁻⁶ |
| ±5% | 第一、二位之间 | 2~3 位 | 0.98、1.03×10⁻⁶ |
| ±1% | 第二位有效数字 | 3 位 | 1.01、0.99×10⁻⁶ |
| ±0.1% | 第三位有效数字 | 4 位 | 1.003×10⁻⁶ |
其逻辑为：公差 ±10% 时实际值可能落于 0.9~1.1，区分 0.95 与 1.04 全靠第二位有效数字，该位必须来自实测。依此判据，行业存在两类错误：
第一类：位数形式具备、内容为照抄，等同于未测。7.3 节案例即属此类：±10% 公差要求标值报至 2 位有效数字，标签形式上报了"1.0×10⁻⁶"，但四支的第二位与目标值完全相同，位数外壳之下的实测信息为零。结合无证书、无公差、无不确定度的事实，其实际效果是以目标值代替实测值交付，客户所得并非可核对数据。
第二类：位数超出不确定度所能支撑的范围，属虚标。如不确定度为 ±5%（第三位有效数字已不可靠），标值却报至 4 位有效数字（如"1.0372×10⁻⁶"），多报位数无测量依据，使客户高估实际精度。规范要求最终标值末位与不确定度所在位对齐；中间计算过程可多保留位数，最终交付值不得如此。
关于"零误差"悖论：公差为零要求标值与目标值逐位精确相等，而精确相等要求无穷多位有效数字全部吻合，其验证又需不确定度为零的测量系统——不存在。故位数存在物理上限，公差永不可能为零；从有效数字与不确定度的关系看，"零误差"是逻辑上无法自洽的宣称。
最终用户在验收与使用环节应核验三项要素：
实测值落在承诺公差之内：以证书/标签实测值对照目标值与承诺公差核验；使用时按实测值而非标称值设定仪器，制造公差问题即随之消除（偏差已知并按实测值使用）。
溯源链有效：证书由有资质机构出具且在有效期内。
按时复校：漏孔存在漂移，长期有效性依赖定期复校保证。
不确定度为计量环节指标，日常使用无须深究。唯一例外为以该漏孔作标准器考核其他设备的情形，此时适用不确定度比判据：漏孔证书不确定度应不大于被考核对象允差的 1/3~1/4。例如以漏孔校验产线检漏仪（仪器允差 ±10%）时，U=2% 裕度充足；若用于标定高精度流量计或验收更高精度等级的漏孔，则不确定度直接进入测量链预算，必须认真核算。掌握不确定度概念对用户的价值主要在于识别"将校准不确定度 ±1% 包装为产品精度 ±1%"的不实宣传——该标注反映的是计量机构的校准能力，而非漏孔产品的固有属性。
采购核验可按以下六问执行，并依据供应商应答判断其规范程度：
问题 1：所称"精度 ±X%"具体指什么？是承诺公差（制造偏差）、不确定度，还是误差？
规范应答：明确指承诺公差（制造精度），并说明在指定工况下承诺将漏率控制在目标值 ±X% 范围内。
不规范应答：仅重复"精度 ±X%，有证书"，不解释概念。
问题 2：承诺公差在什么工况下测得？与实际使用工况是否一致？
规范应答：说明承诺公差系在指定压力、温度、介质下逐支实测，工况不同时按温度系数 XX%/℃ 修正。
不规范应答：声称"通用精度，任何工况相同"，忽略工况依赖性。
问题 3：能否提供校准不确定度的预算表？漏孔本身贡献占多少？
规范应答：提供完整的不确定度分量表。
不规范应答：以商业机密为由拒绝提供。
问题 4：同一支漏孔出厂前的连续测试数据能否提供？
规范应答：提供出厂重复性测试记录。
不规范应答：仅提供校准证书，不提供制造过程数据。
问题 5：温度系数与年稳定性有无实测数据？
规范应答：提供多温度点实测曲线与长期跟踪数据。
不规范应答：声称温度系数为理论值、年稳定性"符合国标要求"。（注：JJF 1833—2020 年稳定性底线要求为 3%/年，"优于底线"不等于"优秀"。）
问题 6：标值的有效数字位数与公差/不确定度是否匹配？
规范应答：标值位数与精度水平自洽——±10% 公差报至 2 位有效数字，±1% 报至 3 位，且每一位均来自实测（同型号各支数值互不相同）。
不规范应答：两类错误居其一——标值与目标值逐位雷同（位数外壳、照抄内容，等同未测），或位数远超不确定度可支撑范围（如 U=±5% 却报 4 位有效数字，属虚标）。
问题 6 无须询问供应商，取得标签或证书后自行核对位数即可，是六问中核验成本最低的一项。
表压与绝压基准。气密漏孔按表压订货、入大气使用，一般无问题；真空氦漏孔的驱动压力若以表压标注，大气压的海拔与年际变化将直接进入漏率。订货与验收时务必确认压力基准。
单位换算的参考温度。1 sccm = 1.69×10⁻³ Pa·m³/s 系按 0℃ 定义；若按 20℃ 定义则相差约 7%。跨单位换算时该 7% 偏差易悄然混入测量链，应明确换算所依据的参考温度。
本白皮书界定了精度、公差、承诺公差、误差、不确定度五个概念的含义与相互关系，主要结论如下：
在标准漏孔领域，"精度"通常为公差的笼统称；承诺公差是制造商唯一可合理对外承诺的指标；误差因真实值不可知而无法精确确定；不确定度属测量属性，由漏孔本身特性与计量机构能力共同构成。
漏率对孔径服从四次方律，±1% 漏率允差对应纳米级孔径控制；不附条件笼统宣称"精度 ±1%"无论按制造精度、测量精度或不确定度解释均不成立。公开可查的批量加工承诺公差最高水平为 ±2%。
规范交付应做到：目标值承载于订货号、标签印制逐支实测值、标注不确定度而非"精度"、工况绑定完整、标值位数与不确定度匹配。
用户验收应核验三要素（实测值在承诺公差内、溯源有效、按时复校），并可按六问清单核验供应商表述的规范性。
标准漏孔单支价值有限，但其偏差可能导致产线对工件的大量误判，误判代价远高于漏孔单价。行业表述的规范化有赖于制造商的数字诚实与采购方的概念清晰。
| 分量 | 标准不确定度 u | 归属 |
|---|---|---|
| 漏孔本身的短期重复性 | 1.0% | 产品本身特性 |
| 上级标准器（流量标准装置） | 2.0% | 计量器具能力 |
| 温度修正（温度系数 × 温度波动） | 1.0% | 产品特性 + 环境控制 |
| 压力测量误差 | 0.8% | 计量器具能力 |
| 数据拟合与读数误差 | 0.5% | 计量器具能力 |
| 合成标准不确定度 u_c | 2.6% | — |
| 扩展不确定度 U（k=2，约 95%） | 5.2% | — |
注：同一支漏孔在不同计量机构校准所得不确定度不同（典型为 U=2%~10%，k=2），漏率量级越小不确定度越大（参见 JJF 1833—2020 附录 C，更小漏率量级下 Ur 达 12%~26%）。
| 订货号 | 目标漏率 | 实测值 | 实际公差 | 承诺公差 | 不确定度 |
|---|---|---|---|---|---|
| RM521.0-010GNA0/3/30-G | 1.0 sccm @ 30 bar 表压，入大气 | 0.99 sccm | −1.0% | ±10% | ±3.4% |
| RM526.0-010GNA0/3/0.18-G | 6.0 sccm @ 0.18 bar 表压，入大气 | 5.72 sccm | −4.7% | ±10% | ±3.4% |
| RM524.7-010GNA0/3/0.14-G | 4.7 sccm @ 0.14 bar 表压，入大气 | 4.45 sccm | −5.3% | ±10% | ±3.4% |
| 序列号 | 实测值 | 实际公差 | 承诺公差 | 不确定度 |
|---|---|---|---|---|
| 27054 | 1.24×10⁻⁶ Pa·m³/s | +3.3% | ±10% | ±5.5% |
| 27051 | 1.30×10⁻⁶ Pa·m³/s | +8.3% | ±10% | ±5.5% |
[1] JJF 1833—2020 真空氦漏孔校准规范
[2] JJF 1627—2017 皂膜流量计法标准漏孔校准规范
[3] JJF 1059.1—2012 测量不确定度评定与表示
[4] JJG（军工）165—2024 真空标准漏孔检定规程
[5] JJF 1001 通用计量术语及定义
[6] 睿米《标准漏孔技术白皮书》V2.5（realmeter.cn/download/54.html）
[7] 睿米《Air&N2 气密性标准漏孔技术白皮书》V1.0（realmeter.cn/news/354.html）
[8] ATEQ F420P/F510/F520 用户手册（ateq-leaktesting.com）
本白皮书正面案例（睿米、ATEQ）均引自其公开发布的白皮书、用户手册及实物标签，引用目的在于说明规范表述的具体形式；反面案例已匿名并脱敏处理，仅用于说明行业普遍存在的表述问题，不指向任何特定厂商。
办公电话：021-5822 0307
技术支持：13601764364（微信同号）
企业官网：www.realmeter.cc
官方邮箱：contact@realmeter.cn
公司地址：上海浦东新区航头镇乐城路30弄4号
About RealMeter
